[實用新型]一種單晶硅直拉熱場可視熱屏裝置有效
| 申請號: | 201320482081.4 | 申請日: | 2013-08-07 |
| 公開(公告)號: | CN203411654U | 公開(公告)日: | 2014-01-29 |
| 發明(設計)人: | 楚信博;李寧 | 申請(專利權)人: | 晶偉電子材料有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 河北東尚律師事務所 13124 | 代理人: | 王文慶 |
| 地址: | 065201 河北省廊坊市*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶硅 直拉熱場 可視 裝置 | ||
1.一種單晶硅直拉熱場可視熱屏裝置,包括外熱屏(2)和嵌套在外熱屏(2)中的內熱屏(1),并且內熱屏(1)與外熱屏(2)之間為密閉的保溫層腔體;其特征在于:所述保溫層腔體中設有夾層塊(3),且夾層塊(3)緊貼內熱屏(1)的外壁和外熱屏(2)的內壁;所述外熱屏(2)的屏壁底部、夾層塊(3)以及內熱屏(1)的屏壁底部的相應位置各開有一個觀察槽。
2.根據權利要求1所述的一種單晶硅直拉熱場可視熱屏裝置,其特征在于:所述內熱屏(1)和外熱屏(2)均為圓臺形,且內熱屏(1)的軸線和外熱屏(2)的軸線一致。
3.根據權利要求1所述的一種單晶硅直拉熱場可視熱屏裝置,其特征在于:所述外熱屏(2)的底部設有內翻邊,內翻邊上設有接口槽,內熱屏(1)的底部插在接口槽中。
4.根據權利要求1所述的一種單晶硅直拉熱場可視熱屏裝置,其特征在于:所述三個觀察槽的形狀、尺寸均一致。
5.根據權利要求1所述的一種單晶硅直拉熱場可視熱屏裝置,其特征在于:所述夾層塊(3)有多個,且沿著保溫層腔體的底部均勻分布。
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