[實用新型]一種多線切割機切削液循環導流裝置

有效

• 申請號: 201320482044.3
• 申請日: 2013-08-07
• 公開（公告）號: CN203409906U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 劉巍;李佩劍;周為貞;范靖;柳恒偉;曹紹文
• 申請（專利權）人: 晶偉電子材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 河北東尚律師事務所 13124
• 代理人: 王文慶

技術領域

本實用新型涉及硅片多線切割技術領域，具體涉及一種用于多線切割機金剛石線用切削液循環導流裝置。

背景技術

眾所周知，現代信息技術和現代電子技術的基礎是半導體技術，而半導體硅材料是最重要的半導體材料。多線切割機以極高的生產效率和出片率，廣泛應用于大直徑超薄硅片的切割領域，多線切割機由動力系統、控制系統、砂漿循環供給系統構成，其中，砂漿循環系統通過砂漿攪拌、砂漿供給和砂漿熱交換，最后由砂漿噴管噴嘴流出砂漿。金剛石線是在多線切割上開始應用的一種新型切割線材，具有成本低、加工速度高等特性，它使用水溶性切削液進行冷卻循環，但是，目前的切削液冷卻循環效果并不是很好。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種冷卻效果良好的多線切割機切削液循環導流裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是：一種多線切割機切削液循環導流裝置，包括一對相對設置的導流板；所述導流板由設在多線切割機砂漿噴管與導輪之間的底板、相對于底板傾斜設置的側板組成，側板與砂漿噴管固定聯接，并且底板與砂漿噴管之間以及底板與導輪之間均留有間隙。

其中，所述側板與底板的傾斜角度為135度。

其中，所述兩個導流板之間的距離為18cm。

其中，所述底板的長度為700cm，寬度為100cm；側板的寬度為450cm；底板與側板的厚度均為3cm。

其中，所述底板與多線切割機的金剛石線線網平行。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：在多線切割過程中，當金剛石線作為切割線時，切削液通過砂漿供給系統，從砂漿噴管流出后沿著導流板涌到離單晶更近的位置，減少了在線網流過的距離，降低了切削液在金剛石線線網上的滲透，從而在金剛石線線網的帶動下，更好的流過單晶達到冷卻單晶的目的。

附圖說明

圖1是本實用新型的裝配示意圖；

圖中：1、導流板，2、砂漿噴管，3、導輪。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

如圖1所示，本實用新型為一種多線切割機切削液循環導流裝置，包括一對相對設置的導流板1，兩個導流板1之間的距離為18cm；導流板1由設在多線切割機砂漿噴管2與導輪3之間的底板、相對于底板傾斜設置的側板組成，側板與底板的傾斜角度為135度；側板與砂漿噴管2固定聯接，底板與多線切割機的金剛石線線網平行，并且底板與砂漿噴管2之間以及底板與導輪3之間均留有間隙。底板的長度為700cm，寬度為100cm；側板的寬度為450cm；底板與側板的厚度均為3cm。

本實用新型應用在多線切割機使用金剛石線切割過程中。多線切割機開啟切削液循環，切削液通過砂漿攪拌，由砂漿供給泵抽出，進入砂漿熱交換器，在交換器中交換熱量后，達到適合溫度后，切削液通過砂漿噴管2，在導流板1的作用下，由原來的直接向下的方向改變成先橫向移動10cm后再流向金剛石線線網。這樣，當有切削液從砂漿噴管2流出時，導流板1就可以將切削液送到距離單晶更近的位置，減少了在線網流過的距離，降低了切削液在金剛石線線網上的滲透，從而在金剛石線線網的帶動下，更好的流過單晶達到冷卻單晶的目的。