[實用新型]晶圓片生產工序間的雙面刷洗設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320481458.4
• 申請日: 2013-08-08
• 公開（公告）號: CN203417887U
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發(fā)明（設計）人: 李繼忠;李述周
• 申請（專利權）人: 常州市科沛達超聲工程設備有限公司
• 主分類號: B08B7/04
• 分類號: B08B7/04;B08B1/02;H01L21/67
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 孫彬

1.?一種晶圓片生產工序間的雙面刷洗設備，其特征在于：它包括機架（1）、控制系統(tǒng)（2）、晶圓片收納裝置（3）和活性劑供給裝置（4）；

還包括雙面刷洗裝置（5），雙面刷洗裝置（5）包括刷洗支座（5-1）、刷洗機構和第一驅動機構，刷洗支座（5-1）安裝在機架（1）上，刷洗機構具有多對同步轉動的刷洗軸組件（5-2）和分別套裝在相應的刷洗軸組件（5-2）上的毛刷（5-3），并且相鄰的毛刷（5-3）位于待洗晶圓片的兩側，刷洗軸組件（5-2）可旋轉地支承在刷洗支座（5-1）上，第一驅動機構驅動刷洗軸組件（5-2）旋轉；

還包括具有若干組噴嘴（6-1）的移動噴淋裝置（6），每組噴嘴（6-1）對應一對刷洗軸組件（5-2），并且位于該對刷洗軸組件（5-2）的上方；

還包括驅動輥裝置（7），驅動輥裝置（7）包括第二驅動機構和多根驅動輥（7-1）以及多組成對的摩擦輪（7-2），每組成對的摩擦輪（7-2）對應一對刷洗軸組件（5-2），并且位于該對刷洗軸組件（5-2）的下方以便支撐該處待洗晶圓片并使其旋轉，摩擦輪（7-2）分別套裝在相應的驅動輥（7-1）上，第二驅動機構驅動驅動輥（7-1）旋轉；

還包括多個毛刷張開機構（8），每個毛刷張開機構對應一對刷洗軸組件（5-2），毛刷張開機構包括轉軸（8-1）、擺臂（8-2）和擺缸（8-3），擺缸（8-3）通過擺缸固定板（8-4）安裝在機架（1）上，擺缸（8-3）與轉軸（8-1）活動連接，轉軸（8-1）可旋轉地支承在刷洗支座（5-1）上，擺臂（8-2）的一端固定連接在轉軸（8-1）上，擺臂（8-2）的另一端與該對刷洗軸組件（5-2）的其中一個固定連接以便該刷洗軸組件（5-1）繞擺臂（8-2）旋轉使該對刷洗軸組件（5-2）分離。

2.根據權利要求1所述的晶圓片生產工序間的雙面刷洗設備，其特征在于：所述的移動噴淋裝置（6）還包括驅動電機（6-2）、直線滑臺副（6-3）、噴管固定組件（6-4）和噴管（6-5），直線滑臺副（6-3）上具有絲杠和螺母組成的絲杠螺母副（6-6），驅動電機（6-2）與絲杠活動連接，噴管（6-5）的一端安裝在噴管固定組件（6-4）上，噴管固定組件（6-4）可滑動地安裝在直線滑臺副（6-3）上，并且噴管固定組件（6-4）與螺母固定連接，所述的多組噴嘴（6-1）安裝在噴管（6-5）上并與其連通。

3.根據權利要求2所述的晶圓片生產工序間的雙面刷洗設備，其特征在于：每組噴嘴（6-1）包括活性劑噴嘴（6-1-1）和純水噴嘴（6-1-2），所述的噴管（6-5）為雙通道噴管，所述的噴管固定組件（6-4）上安裝有對射開關檢測板（6-6），所述的直線滑臺副（6-3）上安裝有與對射開關檢測板（6-6）相匹配的對射開關（6-7）。

4.根據權利要求1所述的晶圓片生產工序間的雙面刷洗設備，其特征在于：所述的刷洗軸組件（5-2）包括彈簧（5-2-1）、兩個卡接軸（5-2-2）和套裝毛刷（5-3）的毛刷軸（5-2-3），所述的機架（1）上安裝有和刷洗軸組件（5-2）對應的軸承座（9），毛刷軸（5-2-3）的兩端分別與卡接軸（5-2-2）的一端卡接，卡接軸（5-2-2）的另一端分別支承在相對應的軸承座（9）上，所述的彈簧（5-2-1）安裝在其中一個軸承座（9）內，并且其套裝在卡接軸（5-2-2）上。

5.根據權利要求1所述的晶圓片生產工序間的雙面刷洗設備，其特征在于：所述的機架（1）的底部設置有滑輪組（1-1）。