[實用新型]光路簡單的激光干涉儀

有效

• 申請號: 201320480038.4
• 申請日: 2013-08-07
• 公開（公告）號: CN203414054U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 馮洋
• 申請（專利權）人: 茂萊（南京）儀器有限公司
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 徐冬濤;瞿網蘭

1.一種光路簡單的激光干涉儀，它包括激光器，第一1/4波片（1），線性偏振片（2）、斜方棱鏡（4）、第一垂直轉向棱鏡（5）、反向棱鏡（6）、第二垂直轉向棱鏡（7）、標準鏡（8）、參考鏡（9）、透鏡（10）、第二1/4波片（11）、會聚透鏡（12）、中心開孔透鏡（13）和CCD攝像頭（14），其特征是所述的激光器發出的偏振光首先經過第一1/4波片（1）、線性偏振片（2）后形成線性偏振P光，線性偏振P光進入由斜方棱鏡（4）、第一垂直轉向棱鏡（5）、第二垂直轉向棱鏡（7）以及反向棱鏡（6）組成的棱鏡系統，線性偏振P光通過在棱鏡系統中的轉向傳播后通過第二垂直轉向棱鏡（7）射出棱鏡系統，并再次經過第二1/4波片（11）、透鏡（10），最終形成偏振態為圓偏振的平行光出射，出射的平行光分別經過參考透鏡（9）和標準鏡面（8）反射之后，形成位相不同的兩束光并且反射回棱鏡系統；反射回棱鏡系統的光線變成線性偏振S光，并與入射的P光重合，按原光路返回至斜方棱鏡（4）與第一垂直轉向棱鏡（5）的接觸面處發生轉折，與原光路分離；轉折出來的S光再次經過匯聚透鏡（12）及中心開孔透鏡（13）之后，成像在CCD（14）上，最終形成干涉條紋。

2.根據權利要求1所述的光路簡單的激光干涉儀，其特征是所述的線偏振P光先經過光學鏡片（3）發散之后進入棱鏡系統。