[實用新型]一種玻璃基板真空傳送系統

有效

• 申請號: 201320476168.0
• 申請日: 2013-08-06
• 公開（公告）號: CN203473933U
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 佘鵬程;孫雪平;童暉;羅宏洋
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G54/02
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強;李發軍

1.?一種玻璃基板真空傳送系統，其特征在于，包括真空腔體（1）和位于真空腔體（1）內的滾道（6），裝在真空腔體（1）內的用于裝載玻璃基板的基板裝載小車，驅動該基板裝載小車在所述滾道（6）上移動且位于真空腔體（1）外側的驅動裝置；所述驅動裝置的傳動軸通過至少一個傳力部件與所述基板裝載小車相連，穿過真空腔體（1）的該傳力部件與真空腔體（1）壁面之間設有密封部件。

2.?根據權利要求1所述的玻璃基板真空傳送系統，其特征在于，所述基板裝載小車包括裝載框架（3），設置在裝載框架（3）底部的底部滾輪（5），設置在裝載框架（3）一個側壁上的側向滾輪（4），以及設置在裝載框架（3）另一個側壁上的摩擦條（7）；所述側向滾輪（4）和底部滾輪（5）分別與呈L形的所述滾道（6）接觸；所述驅動裝置的傳動軸通過同步帶（9）驅動至少一個傳力部件與所述基板裝載小車的摩擦條（7）相連。

3.?根據權利要求1或2所述的玻璃基板真空傳送系統，其特征在于，所述密封部件為裝在真空腔體（1）外壁面上的密封罩（13）；所述傳力部件包括通過軸承裝在密封罩（13）上的主動磁套環（12），該主動磁套環（12）上裝有同步帶輪（10），所述主動磁套環（12）與一裝在內傳動軸（15）底端的隨動磁套環（14）配合傳動，所述內傳動軸（15）通過安裝座（16）裝在真空腔體（1）的壁面上，所述內傳動軸（15）頂端裝有摩擦輪（17），該摩擦輪（17）與所述摩擦條（7）摩擦傳動。

4.?根據權利要求3所述的玻璃基板真空傳送系統，其特征在于，所述摩擦輪（17）為傳動齒輪。

5.?根據權利要求3所述的玻璃基板真空傳送系統，其特征在于，所述主動磁套環（12）與隨動磁套環（14）上均裝有永磁體（18）。

6.?根據權利要求3所述的玻璃基板真空傳送系統，其特征在于，所述摩擦條（7）為膠條。