[實(shí)用新型]用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320472575.4
• 申請(qǐng)日: 2013-08-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203479850U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金晶;曹剛;葛艷輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 殷曉雪

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及一種半導(dǎo)體集成電路的可靠性測(cè)試設(shè)備，特別是涉及其中的測(cè)試針卡。

背景技術(shù)

可靠性測(cè)試設(shè)備用于對(duì)硅片上的電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行PCM（process?control?monitor，工藝監(jiān)控）測(cè)試、WLR（wafer-level?reliability，硅片級(jí)可靠性）測(cè)試等。

請(qǐng)參閱圖1，這是第一測(cè)試結(jié)構(gòu)，通常用于PCM測(cè)試。該第一測(cè)試結(jié)構(gòu)由12個(gè)焊盤（pad）組成橫向一排、或組成縱向一列。每個(gè)焊盤位置用來(lái)放置一個(gè)硅片（wafer）。

請(qǐng)參閱圖2，這是第二測(cè)試結(jié)構(gòu)，通常用于WLR測(cè)試。該第二測(cè)試結(jié)構(gòu)由4個(gè)焊盤組成兩排兩列的2×2分布。每個(gè)焊盤位置用來(lái)放置一個(gè)硅片。

現(xiàn)有的可靠性測(cè)試設(shè)備僅具有一種測(cè)試針卡，例如圖3a所示。這種測(cè)試針卡具有12個(gè)測(cè)試引腳（pin），呈一字排列。請(qǐng)參閱圖3b，該測(cè)試針卡連接到針卡控制臺(tái)，該針卡控制臺(tái)另有四個(gè)控制旋鈕用來(lái)控制該測(cè)試針卡的運(yùn)動(dòng)。X、Y、Z旋鈕用來(lái)控制該測(cè)試針卡在三維空間的位置，θ旋鈕用來(lái)控制該控制針卡的旋轉(zhuǎn)。

圖3a所示的測(cè)試針卡可以用來(lái)對(duì)圖1所示的第一測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試，但無(wú)法用來(lái)對(duì)圖2所示的第二測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試。

實(shí)用新型內(nèi)容

本申請(qǐng)所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種測(cè)試針卡，可以對(duì)圖1、圖2所示的兩種測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡具有16個(gè)測(cè)試引腳，其中14個(gè)測(cè)試引腳呈一字排列，稱為第一排；另2個(gè)測(cè)試引腳也呈一字排列，稱為第二排；并且第二排的2個(gè)測(cè)試引腳與第一排的最后2個(gè)測(cè)試引腳排列為2×2的形態(tài)。

進(jìn)一步地，第一排的14個(gè)測(cè)試引腳中的前12個(gè)稱為該測(cè)試針卡的第一部分引腳，第一排的后2個(gè)測(cè)試引腳與第二排的2個(gè)測(cè)試引腳稱為該測(cè)試針卡的第二部分引腳；所述第一部分引腳用于連接由12個(gè)焊盤組成橫向一排、或組成縱向一列的第一測(cè)試結(jié)構(gòu)；所述第二部分引腳用于連接由4個(gè)焊盤組成兩排兩列的2×2分布的第二測(cè)試結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述第一部分引腳連接針卡控制臺(tái)上的X、Y、Z、θ旋鈕；所述第二部分引腳連接針卡控制臺(tái)上的X、Y、Z2、θ旋鈕。

本申請(qǐng)所設(shè)計(jì)的測(cè)試針卡可以對(duì)圖1、圖2所示的兩種測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試，并且兩部分引腳保持相對(duì)獨(dú)立。

附圖說(shuō)明

圖1是硅片進(jìn)行可靠性測(cè)試的第一測(cè)試結(jié)構(gòu)的示意圖；

圖2是硅片進(jìn)行可靠性測(cè)試的第二測(cè)試結(jié)構(gòu)的示意圖；

圖3a是現(xiàn)有的用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡的示意圖；

圖3b是現(xiàn)有的用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡的連接關(guān)系示意圖；

圖4a是本申請(qǐng)用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡的示意圖；

圖4b是本申請(qǐng)用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡的連接關(guān)系示意圖。

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參閱圖4a，這是本申請(qǐng)的用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡。該測(cè)試針卡具有16個(gè)測(cè)試引腳，其中14個(gè)測(cè)試引腳呈一字排列，稱為第一排。另2個(gè)測(cè)試引腳也呈一字排列，稱為第二排。并且第二排的2個(gè)測(cè)試引腳與第一排的最后2個(gè)測(cè)試引腳排列為2×2的形態(tài)。第一排的14個(gè)測(cè)試引腳中的前12個(gè)稱為該測(cè)試針卡的第一部分引腳，第一排的后2個(gè)測(cè)試引腳與第二排的2個(gè)測(cè)試引腳稱為該測(cè)試針卡的第二部分引腳。

請(qǐng)參閱圖4b，本申請(qǐng)的用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡也連接到針卡控制臺(tái)，該針卡控制臺(tái)另有五個(gè)控制旋鈕用來(lái)控制該測(cè)試針卡的運(yùn)動(dòng)。X、Y、Z旋鈕用來(lái)控制該測(cè)試針卡的第一部分引腳在三維空間的位置，X、Y、Z2旋鈕用來(lái)控制該測(cè)試針卡的第二部分引腳在三維空間的位置，θ旋鈕用來(lái)控制該控制針卡的第一部分引腳或第二部分引腳的旋轉(zhuǎn)。換而言之，五個(gè)控制旋鈕中的X、Y、θ旋鈕是該針卡的第一部分引腳和第二部分引腳所共用的，Z、Z2旋鈕則是該針卡的第一部分引腳和第二部分引腳所分別使用的在z軸方向上進(jìn)行位移控制。對(duì)第一部分引腳和第二部分引腳的z軸位移采用不同的旋鈕，使得這兩部分引腳相對(duì)獨(dú)立，從而可單獨(dú)控制、單獨(dú)斷開(kāi)。

圖4a、圖4b所示的測(cè)試針卡可以用來(lái)對(duì)圖1和圖2所示的兩種測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試。當(dāng)需要對(duì)圖1所示的第一測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行PCM測(cè)試時(shí)，該測(cè)試針卡的第一部分引腳由X、Y、Z、θ旋鈕調(diào)整到恰當(dāng)位置，第一部分引腳（共12個(gè)）再分別對(duì)準(zhǔn)第一測(cè)試結(jié)構(gòu)中的各個(gè)焊盤。當(dāng)需要對(duì)圖2所示的第二測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行WLR測(cè)試時(shí)，該測(cè)試針卡的第二部分引腳由X、Y、Z2、θ旋鈕調(diào)整到恰當(dāng)位置，第二部分引腳（共4個(gè)）再分別對(duì)準(zhǔn)第二測(cè)試結(jié)構(gòu)中的各個(gè)焊盤。

以上僅為本申請(qǐng)的優(yōu)選實(shí)施例，并不用于限定本申請(qǐng)。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本申請(qǐng)可以有各種更改和變化。凡在本申請(qǐng)的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本申請(qǐng)的保護(hù)范圍之內(nèi)。