[實用新型]基片架專用玻璃載具

有效

• 申請號: 201320471008.7
• 申請日: 2013-08-02
• 公開（公告）號: CN203582961U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 郭祖華
• 申請（專利權）人: 蚌埠雷諾真空技術有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102
• 代理人: 張建宏

1.基片架專用玻璃載具，包括兩組框架組件和若干個支撐桿，兩組框架組件分別為第一框架組件和第二框架組件，第一框架組件和第二框架組件分別是由兩個平行放置的框架桿構成，四個框架桿首尾相連構成閉合的平行四邊形結構，每個支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個框架桿上或第二框架組件的兩個框架桿上，第一框架組件、第二框架組件和支撐桿端面上有載物槽口，其特征在于：至少一組框架組件和至少一個支撐桿的材料為耐熱金屬材料。

2.根據權利要求1中所述的基片架專用玻璃載具，其特征為：所述的耐熱金屬材料為金屬鈦。

3.根據權利要求2中所述的基片架專用玻璃載具，其特征為：所述的支撐桿為四個，分別是第一支撐桿、第二支撐桿、第三支撐桿和第四支撐桿，第一支撐桿兩端和第二支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個框架桿上，第三支撐桿兩端和第四支撐桿兩端分別固定在第二框架組件的兩個框架桿上，第三支撐桿和第四支撐桿的材料采用金屬鈦；

所述的第二框架組件的材料采用金屬鈦。