[實用新型]一種合金型二次電子發射材料激活裝置有效
| 申請號： | 201320468739.6 | 申請日： | 2013-08-01 |
| 公開（公告）號： | CN203481177U | 公開（公告）日： | 2014-03-12 |
| 發明（設計）人： | 王彬;熊良銀;李明群;葛鵬;劉實 | 申請（專利權）人： | 中國科學院金屬研究所 |
| 主分類號： | H01J9/12 | 分類號： | H01J9/12 |
| 代理公司： | 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001 | 代理人： | 張晨 |
| 地址： | 110015 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 合金 二次電子 發射 材料 激活 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種合金型二次電子發射材料激活裝置，其特征在于：所述裝置包括真空系統、氧化性氣體源和反應室；
其中，真空系統和氧化性氣體源均與反應室相連，氧化性氣體源包括氣體反應制備室、貯氣瓶、氣壓表和氣體質量流量計，氣體反應制備室與貯氣瓶連通，并通過氣體質量流量計與反應室相連，氣壓表用于監測氣體反應制備室與貯氣瓶內的氣壓。
2.按照權利要求1所述合金型二次電子發射材料激活裝置，其特征在于：所述反應室外設有加熱裝置。
3.按照權利要求2所述合金型二次電子發射材料激活裝置，其特征在于：所述加熱裝置為管式電阻爐。
4.按照權利要求1所述合金型二次電子發射材料激活裝置，其特征在于：所述反應室為石英管。
5.按照權利要求1所述合金型二次電子發射材料激活裝置，其特征在于：所述氣體反應制備室為石英管，可進行加熱制備高純度氧化性氣體。
6.按照權利要求5所述合金型二次電子發射材料激活裝置，其特征在于：所述氣體反應制備室帶有備用接口，可從外部引入氧化性氣體。
7.按照權利要求1所述合金型二次電子發射材料激活裝置，其特征在于：所述真空系統包括機械泵、分子泵和復合真空計，其中機械泵和分子泵串聯后，與反應室相連，復合真空計用于測量反應室內真空度。
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