[實用新型]基于介電泳效應的擺動式研磨/拋光設備

有效

• 申請號: 201320468732.4
• 申請日: 2013-08-01
• 公開（公告）號: CN203401358U
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 鄧乾發;趙天晨;呂冰海;毛美姣;袁巨龍;郭偉剛;郁煒;厲淦;吳喆
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 王利強

1.一種基于介電泳效應的擺動式研磨/拋光設備，包括機架、安裝在機架上的拋光盤、擺桿、工件夾具和拋光液輸入器，所述擺桿與所述的工件夾具相連，所述工件夾具置于所述的拋光盤上方，待拋光的工件裝夾在所述的工件夾具的底面，所述拋光盤安裝在驅動主軸上，所述驅動主軸與驅動電機連接，其特征在于：所述的拋光盤上安裝第一電極板，所述第一電極板與交流電源的第一引出端連接，所述工件夾具上安裝第二電極板，所述第二電極板與所述交流電源的第二引出端連接；所述的交流電源的電流輸入端與用于控制所述的交流電源的電壓與頻率的調頻調壓控制器連接。

2.如權利要求1所述的基于介電泳效應的擺動式研磨/拋光設備，其特征在于：所述的拋光盤內安裝有第一絕緣板，所述第一電極板安裝在所述第一絕緣板上；所述的工件夾具內安裝有第二絕緣板，所述第二電極板安裝在所述第二絕緣板上。

3.如權利要求1所述的基于介電泳效應的擺動式研磨/拋光設備，其特征在于：所述的拋光盤為絕緣材料拋光盤，所述的工件夾具為絕緣材料夾具。

4.如權利要求1～3之一所述的基于介電泳效應的擺動式研磨/拋光設備，其特征在于：所述拋光液輸入器位于所述拋光盤的側面。