[實用新型]準單晶鑄錠爐的保溫體六面式熱場結構

有效

• 申請號: 201320463213.9
• 申請日: 2013-08-01
• 公開（公告）號: CN203382846U
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發明（設計）人: 水川;許柏
• 申請（專利權）人: 安徽大晟新能源設備科技有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102
• 代理人: 王琪

技術領域

本實用新型屬于準單晶鑄錠爐技術領域，特別涉及一種鑄錠爐的保溫體內部熱場結構。

背景技術

在準單晶鑄錠爐上采用誘導的方式，通過合理地熱場控制生產出的具有高轉換率的準單晶硅片?，F在國內或國外準單晶鑄錠爐加熱方式采用美國GT鑄錠爐五面式加熱方式德國ALD鑄錠爐上下加熱方式，以上兩種加熱方式都有不足之處：1、美國GT鑄錠爐五面式加熱采用上加熱器和四個側面加熱器，無下加熱器，在準單晶鑄錠過程中，熔化硅料時間長、整個熱場橫向熱場溫度梯度大，造成側面籽晶熔化過多，不利于準單晶的生長。2、德國ALD鑄錠爐采用上下加熱器，無四個側面加熱器，在準單晶鑄錠過程中，側面熱場溫度跟不上，不利于準單晶生長。在準單晶的結晶過程中，控溫時保溫體內部的上下溫度梯度控制困難，不能滿足鑄錠爐生產單晶硅的工藝要求。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種準單晶鑄錠爐的保溫體六面式熱場結構，以滿足在單晶硅生產中保溫體內部保持合理的溫度梯度，從而提高設備的生產效率。

為實現上述目的，本實用新型采用以下方案：

一種準單晶鑄錠爐的保溫體六面式熱場結構，包括上保溫體、下保溫體、側發熱體、上發熱體、石墨平臺、石英坩堝、坩堝護板和坩堝蓋板，所述保溫體為箱體型，其內部的上方固定設有上發熱體，保溫體四周固定設有側發熱體，保溫體中部設有石墨平臺，石墨平臺上平面置有石英坩堝，石英坩堝的四周設有坩堝護板，坩堝護板的上方設有坩堝蓋板；所述石墨平臺底部設有下發熱體。

所述下發熱體、石墨平臺與升降立柱連接，可隨升降立柱一起上下移動，形成工藝要求所需的動態熱場。

本實用新型結構合理，形成了一個動態六面熱場，六面式熱場加熱方式采用上、下發熱體和一組側面發熱體，三組發熱體均可獨立控制。避免以上兩種已有技術中的不足之處，使個熱場橫向熱場梯度小，熔化硅料時間短，提高單晶率，縮短整個工藝周期，提高了設備的生產效率，可節約能耗、降低整個鑄錠成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合實施例及其附圖對本實用新型做進一步詳細的說明：

如圖1所示，一種準單晶鑄錠爐的保溫體六面式熱場結構，包括上保溫體7、下保溫體6、側發熱體4、上發熱體9、石墨平臺1、升降立柱5、石英坩堝3、坩堝護板10、坩堝蓋板8和下發熱體2。

所述上保溫體7、下保溫體6組合為箱體型，其內部的上方固定設有上發熱體9，上保溫體7四周固定設有側發熱體4，下保溫體6中部設有石墨平臺1，石墨平臺1上平面置有石英坩堝3，石英坩堝3的四周設有坩堝護板10，坩堝護板10的上方設有坩堝蓋板8；所述石墨平臺1底部固定設有下發熱體2。

所述下發熱體2、石墨平臺1與升降機構的升降立柱5連接一起，可以隨升降立柱5上下移動。

以上所述的僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出若干變型和改進，這些也應視為屬于本實用新型的保護范圍。