[實(shí)用新型]一種電子級四甲基氫氧化銨生產(chǎn)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320462139.9
• 申請日: 2013-07-30
• 公開（公告）號: CN203429266U
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁小朝;黃源;尹云艦;羅江;王海龍
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州格林達(dá)化學(xué)有限公司
• 主分類號: C25B3/00
• 分類號: C25B3/00;C25B15/08
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務(wù)所有限公司 33241
• 代理人: 王利強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種四甲基氫氧化銨生產(chǎn)裝置。

背景技術(shù)

電子級四甲基氫氧化銨（Tetramethyl?Ammonium?Hydroxide,TMAH）用于顯示面板（FDP）和半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中的顯影液，是用量最大的電子化學(xué)品之一。電子級四甲基氫氧化銨的主要制備方法是通過電解四甲基碳酸銨。由于用于顯示面板（FDP）和半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中的顯影液要求純度高：單個(gè)金屬離子要求低于100ppb，單個(gè)陰離子雜質(zhì)低于1ppm，因此完全靠離子膜電解控制無法實(shí)現(xiàn)，必須對電解原料四甲基碳酸銨進(jìn)行金屬離子和其他陰離子如硝酸根的脫除。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服已有四甲基氫氧化銨生產(chǎn)裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、存在陰離子超標(biāo)問題的不足,本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、有效消除陰離子超標(biāo)問題、可連續(xù)生產(chǎn)的電子級四甲基氫氧化銨生產(chǎn)裝置。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種電子級四甲基氫氧化銨生產(chǎn)裝置，所述生產(chǎn)裝置包括陰離子樹脂塔、陽離子樹脂塔、電解槽和過濾器，所述陰離子樹脂塔的入口為四甲基碳酸鹽進(jìn)料口，所述陰離子樹脂塔的出口與所述陽離子樹脂塔的入口連通，所述陽離子樹脂塔的出口與所述電解槽的入口連通，所述電解槽的出口與出料管的一端連接，所述出料管上安裝過濾器，所述出料管的另一端與電子級四甲基氫氧化銨產(chǎn)品儲罐連接。

進(jìn)一步，所述陰離子樹脂塔和陽離子樹脂塔組成樹脂塔支路，所述樹脂塔支路有兩條，兩條樹脂塔支路并聯(lián)，兩個(gè)陰離子數(shù)字頭的入口均與入料閥連通，兩個(gè)陽離子樹脂塔的出口均與出料閥連通，所述出料閥與所述電解槽的入口連通，所述入料閥和出料閥均為二選一控制閥。即兩個(gè)樹脂塔支路，一個(gè)支路用以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)，此時(shí)，另一個(gè)支路實(shí)現(xiàn)再生。

本實(shí)用新型的有益效果主要表現(xiàn)在：充分利用陰陽樹脂裝置預(yù)處理四甲基碳酸鹽，保證了電解生產(chǎn)的四甲基氫氧化銨金屬雜質(zhì)和陰離子雜質(zhì)達(dá)到顯示面板（FDP）和半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中的顯影液使用要求。而且結(jié)構(gòu)簡單，可連續(xù)生產(chǎn)，并且樹脂容易再生，循環(huán)使用，節(jié)約成本，易于推廣實(shí)用。

附圖說明

圖1是電子級四甲基氫氧化銨生產(chǎn)裝置的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。

參照圖1，一種電子級四甲基氫氧化銨生產(chǎn)裝置，所述生產(chǎn)裝置包括陰離子樹脂塔1、陽離子樹脂塔2、電解槽3和過濾器4，所述陰離子樹脂塔1的入口為四甲基碳酸鹽進(jìn)料口，所述陰離子樹脂塔1的出口與所述陽離子樹脂塔2的入口連通，所述陽離子樹脂塔2的出口與所述電解槽3的入口連通，所述電解槽3的出口與出料管的一端連接，所述出料管上安裝過濾器4，所述出料管的另一端與電子級四甲基氫氧化銨產(chǎn)品儲罐6連接。

進(jìn)一步，所述陰離子樹脂塔1和陽離子樹脂塔2組成樹脂塔支路，所述樹脂塔支路有兩條，兩條樹脂塔支路并聯(lián)，兩個(gè)陰離子數(shù)字頭的入口均與入料閥連通，兩個(gè)陽離子樹脂塔的出口均與出料閥連通，所述出料閥與所述電解槽的入口連通，所述入料閥和出料閥均為二選一控制閥5。即兩個(gè)樹脂塔支路，一個(gè)支路用以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)，此時(shí)，另一個(gè)支路實(shí)現(xiàn)再生。

本實(shí)施例中，四甲基碳酸鹽溶液流經(jīng)填有弱堿性陰離子樹脂的樹脂塔1，去除溶液中的金屬離子雜質(zhì)；經(jīng)上述1所處理后的四甲基碳酸鹽再流經(jīng)填有強(qiáng)酸性陽離子樹脂的樹脂塔2，去除金屬離子雜質(zhì)；經(jīng)過上述1,2處理后的四甲基碳酸鹽進(jìn)入含離子膜的電解槽電解生產(chǎn)四甲基氫氧化銨，達(dá)到目標(biāo)濃度后過濾得到合格的電子級四甲基氫氧化銨，適應(yīng)于顯示面板（FDP）和半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中的顯影液。

陰離子樹脂塔可以通過無機(jī)酸如鹽酸再生。陽離子樹脂可以堿液如氫氧化鈉，氫氧化鉀再生。

為了保證連續(xù)生產(chǎn)，上述1,2中的樹脂塔可建立兩套，在一套樹脂塔進(jìn)行再生時(shí)，另一套進(jìn)行四甲基碳酸鹽的純化。

如圖1所示，四甲基碳酸鹽首先經(jīng)過樹脂塔1，去除其中的金屬雜質(zhì)；之后四甲基碳酸鹽流經(jīng)樹脂塔2，去除其中的陰離子雜質(zhì)；純化后的四甲基碳酸鹽進(jìn)入含離子膜的電解槽3電解生產(chǎn)四甲基氫氧化銨；產(chǎn)品經(jīng)過過濾裝置4保證顆粒數(shù)達(dá)到電子級產(chǎn)品的要求進(jìn)入產(chǎn)品儲罐6。兩條樹脂塔支路并聯(lián)，當(dāng)樹脂塔吸附飽和后，通過酸堿溶液進(jìn)行再生，在再生的同時(shí)樹脂塔進(jìn)行四甲基碳酸鹽的純化，如此交替通過二選一控制閥5控制保證連續(xù)生產(chǎn)。