[實用新型]控制籽晶桿升降的傳動裝置

有效

• 申請號: 201320461145.2
• 申請日: 2013-07-30
• 公開（公告）號: CN203411655U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 方建東;楊寧;孫曉曉;黃小衛
• 申請（專利權）人: 元亮科技有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 殷紅梅

技術領域

本實用新型涉及一種控制籽晶桿升降的傳動裝置，屬于晶體生長技術領域。?

背景技術

隨著科學技術的發展，對晶體材料的要求越來越高，這也意味著對晶體材料的生長工藝和生長設備的要求越來越高。晶體生長的提拉速度是人工晶體生長過程中的關鍵技術之一，特別是在等徑階段高精度且穩定的提拉速度在高質量晶體的生長中起著非常重要的作用。為避免晶體生長過程中拉速過大造成晶格的斷裂、因拉速不穩定導致晶體中產生大量嚴重的生長條紋，影響晶體內在質量，這就要求籽晶桿具有超低速的拉速和較高的穩定性。?

傳統的晶體生長爐籽晶桿的升降采用結構簡單的傳動裝置實現，由于傳動裝置的減速比小，導致籽晶桿提拉速度一直處在較高水平，且傳動裝置經常會出現穩定性差、易產生傳導振動等問題。?

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種控制籽晶桿升降的傳動裝置，減速比大、結構穩定。?

按照本實用新型提供的技術方案，一種控制籽晶桿升降的傳動裝置，包括托板，在托板上固定支架，在支架上安裝絲桿箱體；在所述絲桿箱體內部安裝絲桿，在絲桿的上段套設螺母座，螺母座與晶桿支撐板連接；特征是：在所述絲桿下方安裝轉接軸，在轉接軸上安裝蝸輪，蝸輪與蝸桿嚙合，蝸桿與伺服電機的動力輸出端連接；在所述轉接軸的上段套設諧波減速器，在絲桿的下段套設電磁離合器，諧波減速器與電磁離合器通過連接板連接。?

在所述絲桿的中段套設錐齒輪，錐齒輪外側的絲桿箱體上連接手輪，手輪的端部齒輪與錐齒輪嚙合。?

在所述絲桿箱體上設有豎直方向的箱體導軌，晶桿支撐板設置在箱體導軌上，可沿箱體導軌上下滑動。?

本實用新型傳動裝置通過設置蝸輪蝸桿、諧波減速器二級減速系統，使整套傳動裝置的減速比達到三十萬以上，使從伺服電機發出的高轉速轉換為超低的轉速輸出，實現精確控制籽晶桿超低提拉速度的目的，適于在晶體生長過程中提供籽晶桿的超低速提拉，從而提高晶體成品率。同時，本實用新型裝置還設置有手動控制裝置，通過手輪不經過減速系統來控制籽晶桿實現較高的提拉速度，適于在晶體生長結束后控制籽晶桿的較高速提拉，提高生產效率。本實用新型傳動裝置結構緊湊，不會出現提拉速度穩定性差、傳導振動等問題，可穩定控制籽晶桿的提拉速度。?

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。?

圖2為圖1的B-B剖視圖。?

具體實施方式

下面結合具體附圖對本實用新型作進一步說明。?

如圖1～圖2所示：所述控制籽晶桿升降的傳動裝置包括托板1、支架2、絲桿箱體3、絲桿4、轉接軸5、蝸輪6、蝸桿7、伺服電機8、諧波減速器9、電磁離合器10、連接板11、螺母座12、晶桿支撐板13、箱體導軌14、錐齒輪15、手輪16等。?

如圖1所示，本實用新型包括托板1，在托板1上固定支架2，在支架2上安裝絲桿箱體3；在所述絲桿箱體3內部安裝絲桿4，在絲桿4的上段套設螺母座12，螺母座12與晶桿支撐板13連接；在所述絲桿4下方安裝轉接軸5，在轉接軸5上安裝蝸輪6，蝸輪6與蝸桿7嚙合，蝸桿7與伺服電機8的動力輸出端連接；在所述轉接軸5的上段套設諧波減速器9，在絲桿4的下段套設電磁離合器10，諧波減速器9與電磁離合器10通過連接板11連接；?

在所述絲桿4的中段套設錐齒輪15，錐齒輪15外側的絲桿箱體3上連接手輪16，手輪16通過齒輪與錐齒輪15嚙合，帶動錐齒輪15轉動，從而手動帶動絲桿4轉動；

在所述絲桿箱體3上設有豎直方向的箱體導軌14，晶桿支撐板13設置在箱體導軌14上，可沿箱體導軌14上下滑動。

本實用新型的工作過程：伺服電機8提供本實用新型所述傳動裝置的動力，通過蝸輪6和蝸桿7將動力傳至轉接軸5，轉接軸5上套設有諧波減速器9，蝸輪6蝸桿7、諧波減速器9的二級減速系統使整套傳動裝置的減速比達到三十萬以上，使從伺服電機發出的高轉速轉換為超低的轉速輸出，實現精確控制籽晶桿超低提拉速度的目的，適于在晶體生長過程中提供籽晶桿的超低速提拉，從而提高晶體成品率。同時，本實用新型裝置還設置有手動控制裝置，通過手輪16不經過減速系統來控制籽晶桿實現較高的提拉速度，適于在晶體生長結束后控制籽晶桿的較高速提拉，提高生產效率。本實用新型傳動裝置結構緊湊，不會出現提拉速度穩定性差、傳導振動等問題，可穩定控制籽晶桿的提拉速度。?