[實用新型]一種精確的平行度調節裝置

有效

• 申請號: 201320454284.2
• 申請日: 2013-07-29
• 公開（公告）號: CN203364777U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 汪金龍;吳曉光;賀創業;吳義恒;胡世鵬
• 申請（專利權）人: 中國原子能科學研究院
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26;G01C3/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于平行度檢測技術領域，具體涉及一種精確的平行度調節裝置。?

背景技術

在現有許多領域中，都可能要求兩個元件達到一定的平行度，例如在利用Plunger測量原子核能級壽命實驗中，要測量靶膜、阻停膜兩瞙之間的距離，就要保證兩膜具有較好的平行度，尤其在微小距離測量過程中，平行度對兩膜之間的距離影響很大。國際上通常用目測法來檢查兩膜的平行度，該方法人為的因素很大，沒有科學的依據和可靠的數據支持。?

發明內容

針對現有技術中存在的缺陷，本實用新型的一個目的是提供一種精確的并可實時檢測、調節的平行度調節裝置及調節方法。?

本實用新型的另一個目的是提供上述平行度調節裝置的調節方法。?

為達到以上目的，本實用新型采用的技術方案是：一種精確的平行度調節裝置，包括分別用于承載兩個待調元件的載體、用于支撐所述載體的兩個可移動支架以及三個視頻顯微鏡；兩個待調元件的待調面為平面，兩個待調元件間距中心處正下方設有單色光源；兩個可移動支架以兩個待調元件的待調面大體平行且相對的方式排列，所述載體之一與其可移動支架通過至少三個貫穿二者的可調緊固件連接，所述可調緊固件上套裝有壓縮彈簧，壓縮彈簧的兩端分別抵在可調緊固件的頭端和可移動支架上；三個視頻顯微鏡的物鏡設在兩個待調元件的間隙的外緣處，三個視頻顯微鏡的鏡筒的中軸線位于同一平面內。?

進一步，所述壓縮彈簧的彈性伸展長度不超過1mm。?

進一步，三個視頻顯微鏡的鏡筒的中軸線相互呈120度夾角。?

更進一步，每個視頻顯微鏡的單筒光學放大倍數為0.75X-5X，物鏡倍數是5X。?

本實用新型提供的一種精確的平行度調節裝置的調節方法，包括以下步驟：?

（1）檢測之前，將三臺視頻顯微鏡的單筒放大倍數分別調到合適的值，根據視頻顯微鏡的使用調節方法對每個視頻顯微鏡進行校準，校準后在視頻顯微鏡的配套顯示器上出現兩對相互垂直的刻線；?

（2）然后移動兩個可移動支架，使兩個待調元件相距一定距離；

（3）打開單色光源，使光透過兩個待調元件的待調面的間隙所形成的光縫顯示在三個視頻顯微鏡的顯示器上；

（4）調節各個視頻顯微鏡和可移動支架的位置，使出現在每個視頻顯微鏡的顯示器上的光縫位于該顯示器的中央；

（5）用N標記檢測次數，對應N個檢測距離，用K標記在某一距離下是否調節緊固件，K=0表示未作調節，K=1表示已作調整，初始時N=0，K=0；

（6）對任一視頻顯微鏡，調節視頻顯微鏡配套操作手柄，使其配套的顯示器上某一根水平刻線與光縫的下端對齊，保持不動；?

（7）調節視頻顯微鏡配套操作手柄，使顯示器上的另一根水平刻線移動至光縫的上端，并與光縫的上端對齊；

（8）讀取顯示器上光縫在與水平刻線垂直方向上的距離值，并記錄；

（9）判斷三個顯示器上光縫所在Y軸方向的距離值的均方差是否均在設定的誤差范圍內，若三個距離值的均方差不在設定的誤差范圍內，則調節可調緊固件的擰入程度，以調節兩個平面的平行度，計K=1，并返回步驟(6），若三個距離值的均方差在設定的誤差范圍內，無需調節，計K=0，則檢測次數加一，即N=N+1，并進入步驟（10），若K≠0，則使K=0、N=0，并改變兩個待調元件之間的距離，返回步驟（6）；

（10）查看N是否大于或等于最小檢測次數N_min，若是則調節結束，平行度達到實驗要求，否則改變兩個待調元件之間的距離，并返回步驟（6）。

本實用新型通過設在可調緊固件和套裝在可調緊固件上的壓縮彈簧組成的簡單機構就可以對待調元件進行俯仰和偏轉調節，可實現實時調節，并同時檢測平行度。?

附圖說明

圖1-1是本實用新型提供的平行度調節裝置的結構簡圖，

圖1-2是圖1的左視圖，為清楚顯示的目的，圖1-1中略去了其他兩個方位上的視頻顯微鏡（示于圖1-2），圖1-2略去了其中一個可移動支架；?

圖2是本實用新型提供的平行度調節裝置的調節方法的流程圖；

圖3-1示出了本實用新型提供的平行度調節裝置的一種具體實施方式的結構示意圖，

圖3-2為圖3-1所示結構的分解圖，為清楚顯示的目的，圖3-1、3-2中略去了視頻顯微鏡。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步描述。?