[實用新型]多晶硅還原爐電極陶瓷絕緣組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320453119.5
• 申請日: 2013-07-29
• 公開（公告）號: CN203346091U
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何建和;羅奕惠;徐正偉;趙建
• 申請（專利權(quán)）人: 景德鎮(zhèn)晶達新材料有限公司
• 主分類號: C01B33/021
• 分類號: C01B33/021
• 代理公司: 景德鎮(zhèn)市高嶺專利事務(wù)所(普通合伙) 36120
• 代理人: 譚鳴華

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)工藝設(shè)備中的電極絕緣構(gòu)件，具體涉及一種多晶硅還原爐電極陶瓷絕緣組件。

背景技術(shù)

多晶硅還原爐對電極的絕緣保護要求高，目前國內(nèi)主要采用整體式結(jié)構(gòu)的聚四氟乙烯套對電極進行絕緣保護。整體式結(jié)構(gòu)的聚四氟乙烯套其優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單、絕緣性能好，但是，由于四氟材料耐高溫性能較差，最高只能耐250℃，而爐內(nèi)最高溫度能達到1100℃，聚四氟乙烯套的上端靠近底盤部分因受熱容易燒焦、變形，導(dǎo)致絕緣性能下降、電極拉弧等現(xiàn)象發(fā)生，需要經(jīng)常更換，更換聚四氟乙烯套的操作比較復(fù)雜、費時，需要將整個電極拆掉，造成使用成本增高。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種耐高溫性能好且更換簡便的多晶硅還原爐電極陶瓷絕緣組件。

本實用新型的目的采用如下技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種多晶硅還原爐電極陶瓷絕緣組件，包括套裝在電極上的階梯狀絕緣保護套，其特征是：保護套為分體式結(jié)構(gòu)，由高鋁瓷制成的陶瓷絕緣套套裝在電極的上部，聚四氟乙烯套套裝在電極下部，陶瓷絕緣套下部緊密配合套接在聚四氟乙烯套內(nèi)。

所述的高鋁瓷優(yōu)選95%或99%氧化鋁陶瓷，所述陶瓷絕緣套的上沿還可以設(shè)有一個臺階，方便取放。

由于本實用新型采用分體式結(jié)構(gòu)，因為電極下部溫度低，聚四氟乙烯套基本上不會損壞，而上部采用耐高溫和絕緣性能好的95%或99%氧化鋁陶瓷，不易燒壞和變形。因此本實用新型的優(yōu)點是緣性能好、耐高溫性能優(yōu)良、使用壽命大大延長，即使陶瓷絕緣套損壞，更換也非常方便。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的電極與絕緣保護套的裝配結(jié)構(gòu)圖。

圖2為本實用新型和電極的裝配結(jié)構(gòu)圖。

圖3為本實用新型中陶瓷絕緣套的一種具體結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳細說明。

如圖1和圖2所示。圖1中，對電極1起絕緣保護作用的是套裝在電極上的階梯狀絕緣保護套6，由聚四氟乙烯材料制成，為一體式結(jié)構(gòu)。圖2中，絕緣保護套為分體式結(jié)構(gòu)。由95%或99%氧化鋁陶瓷制成的陶瓷絕緣套2套裝在電極1的上部，陶瓷絕緣套2的上端靠近底盤5，聚四氟乙烯套3套裝在電極1的下部，陶瓷絕緣套2的下部緊密配合套接在聚四氟乙烯套3內(nèi)。圖3中，陶瓷絕緣套2的上沿設(shè)有一個臺階4。