[實(shí)用新型]基板減薄固定工具及基板減薄裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320448090.1
• 申請(qǐng)日: 2013-07-25
• 公開（公告）號(hào): CN203360279U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 谷豐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及顯示裝置面板技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用于顯示裝置面板制造工藝中，對(duì)玻璃基板進(jìn)行浸泡蝕刻減薄時(shí)所采用的基板減薄固定工具及基板減薄裝置。

背景技術(shù)

隨著LCD技術(shù)的發(fā)展，臺(tái)式液晶顯示器、筆記本液晶顯示器、手持顯示器和大尺寸液晶電視已經(jīng)越來越普及，為了應(yīng)對(duì)各類液晶顯示器薄型化的發(fā)展趨勢，高世代生產(chǎn)線相繼投入到薄型化產(chǎn)品的生產(chǎn)中。在TFT-LCD（Thin?Film?Transistor-Liquid?Crystal?Display）制造過程中，玻璃基板的厚度是至關(guān)重要的一環(huán)。

現(xiàn)有的玻璃基板薄化的方式有很多，但是主流的薄化技術(shù)還是化學(xué)薄化，而化學(xué)薄化的最主要方法有三種：噴淋式、流瀑式以及浸泡式，其中噴淋式減薄和流瀑式減薄由于生產(chǎn)效率較低、生產(chǎn)設(shè)備和原料利用效率較低而很少使用，當(dāng)前最主要的基板化學(xué)薄化方法還是浸泡式減薄。

如圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中采用浸泡式減薄方式的基板減薄裝置的示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中基板減薄裝置包括一蝕刻槽10，在蝕刻槽10內(nèi)盛裝有用于蝕刻玻璃基板的蝕刻液，玻璃基板20通過基板減薄固定工具（圖中未示出）豎直固定在蝕刻槽10內(nèi)。在整個(gè)薄化過程中，玻璃基板處于固定狀態(tài)不能移動(dòng)，然而由于蝕刻液通常采用HF酸（氫氟酸）與水的混合液，由于HF酸的濃度低于水的濃度，因此，在整個(gè)蝕刻槽內(nèi)混合液的濃度不均勻，由此導(dǎo)致玻璃基板薄化速率不均，會(huì)出現(xiàn)玻璃基板位于上方的區(qū)域由于HF酸濃度較高而導(dǎo)致減薄速率較快，而玻璃基板位于下方的區(qū)域減薄速率較慢，從而導(dǎo)致玻璃基板厚度不均。

由此可見，目前浸泡式減薄的主要技術(shù)瓶頸就是由于玻璃基板長時(shí)間在酸液中浸泡，局部區(qū)域經(jīng)常由于蝕刻液濃度不均而導(dǎo)致玻璃基板厚度不均，從而對(duì)玻璃基板的后續(xù)生產(chǎn)工藝產(chǎn)生很大影響。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的就在于提供一種基板減薄固定工具及基板減薄裝置，能夠改善由于蝕刻液濃度不均導(dǎo)致玻璃基板厚度不均的問題，提高浸泡式減薄處理后的玻璃基板的厚度均一性。

本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案如下：

一種基板減薄固定工具，用于將基板設(shè)置于蝕刻槽內(nèi)；所述基板減薄固定工具包括：

能夠設(shè)置于蝕刻槽內(nèi)，并與基板保持固定的固定機(jī)構(gòu)；以及，

能夠帶動(dòng)所述固定機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)基板圍繞垂直于基板的一軸心線進(jìn)行周向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述固定機(jī)構(gòu)連接。

進(jìn)一步的，所述固定機(jī)構(gòu)包括：

能夠夾持基板的至少兩個(gè)相對(duì)側(cè)邊，以固定基板的夾持部；

以及，能夠在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的固定部，所述固定部分別與所述夾持部、所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接。

進(jìn)一步的，所述夾持部包括：用于夾持基板的第一側(cè)邊的多根第一卡條；以及，與多根所述第一卡條相對(duì)設(shè)置，用于夾持基板的與所述第一側(cè)邊相對(duì)的第二側(cè)邊的多根第二卡條；

所述固定部包括：能夠分別設(shè)置于基板的兩個(gè)相對(duì)表面的外側(cè)的第一側(cè)框和第二側(cè)框，所述第一側(cè)框和所述第二側(cè)框相互間隔設(shè)置；

其中，

所述第一卡條的兩端分別連接在所述第一側(cè)框和所述第二側(cè)框上；

所述第二卡條的兩端分別連接在所述第一側(cè)框和所述第二側(cè)框上。

進(jìn)一步的，所述第一卡條的兩端采用可拆卸地方式連接在所述第一側(cè)框和所述第二側(cè)框上；和/或，所述第二卡條的兩端采用可拆卸地方式連接在所述第一側(cè)框和所述第二側(cè)框上。

進(jìn)一步的，所述第一卡條上設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)用于與基板的第一側(cè)邊卡接的第一凹槽；所述第二卡條上設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)用于與基板的第二側(cè)邊卡接的第二凹槽，且所述第一凹槽和所述第二凹槽的位置相對(duì)應(yīng)。

進(jìn)一步的，所述蝕刻槽的內(nèi)壁上設(shè)置有能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臂；

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)至少包括：

能夠與所述旋轉(zhuǎn)臂配合，以在所述旋轉(zhuǎn)臂帶動(dòng)下，帶動(dòng)所述固定機(jī)構(gòu)圍繞垂直于基板的軸心線旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸承，所述旋轉(zhuǎn)軸承與所述固定機(jī)構(gòu)固連。

進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)軸承至少包括第一旋轉(zhuǎn)軸承和第二旋轉(zhuǎn)軸承，所述第一旋轉(zhuǎn)軸承固連于所述第一側(cè)框上，所述第二旋轉(zhuǎn)軸承固連于所述第二側(cè)框上，且所述第二旋轉(zhuǎn)軸承與所述第一旋轉(zhuǎn)軸承同軸設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述第一側(cè)框和所述第二側(cè)框均為鏤空的平板結(jié)構(gòu)或者由多根條棱拼合而成的框體結(jié)構(gòu)；

所述第一旋轉(zhuǎn)軸承固連于所述第一側(cè)框的中部位置，并位于所述第一側(cè)框的遠(yuǎn)離所述第二側(cè)框的一側(cè)；

所述第二旋轉(zhuǎn)軸承固連于所述第二側(cè)框的中部位置，并位于所述第二側(cè)框的遠(yuǎn)離所述第一側(cè)框的一側(cè)。