[實用新型]一種半導體致冷件夾具有效
| 申請號: | 201320443605.9 | 申請日: | 2013-07-25 |
| 公開(公告)號: | CN203339136U | 公開(公告)日: | 2013-12-11 |
| 發明(設計)人: | 和俊莉;王丹;張文濤;陳磊;錢俊有;蔡水占;劉栓紅 | 申請(專利權)人: | 河南鴻昌電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 461500 河南省許昌*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 致冷 夾具 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種半導體加工工具,具體地說涉及一種半導體致冷件夾具。
背景技術
現有的半導體致冷件夾具為單獨一個,在使用時只能進行單個加工,由于夾具是配合加熱板進行工作的,從而存在,加工效率低,費時費力,使用不方便的缺點。??????????
發明內容
本實用新型的目的就是針對上述缺點,提供一種具有使用方便、加工效率高,操作簡單的一種半導體致冷件夾具。
本實用新型的技術方案是這樣實現的:一種半導體致冷件夾具,包括夾具本體,其特征在于:所述的夾具本體下部設有加熱板,所述的加熱板上部安裝有夾具,所述的夾具兩端設有連接柱,所述的連接柱下部固定在加熱板上,上部安裝在夾具板上。
進一步的講:所述的加熱板為四方形,中間設有限位孔,所述的夾具設有1-4個。
本實用新型的有益效果是:這樣結構的一種半導體致冷件夾具具有使用方便、加工效率高,操作簡單的優點。
附圖說明
圖1是本實用新型的結構示意圖。
其中:???1、夾具本體??2、加熱板3、夾具4、連接柱5、夾具板6、限位孔。
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型作進一步的描述。
如圖1所示,一種半導體致冷件夾具,包括夾具本體1,其特征在于:所述的夾具本體1下部設有加熱板2,所述的加熱板2上部安裝有夾具3,所述的夾具3兩端設有連接柱4,所述的連接柱4下部固定在加熱板2上,上部安裝在夾具板5上。
進一步的講:所述的加熱板2為四方形,中間設有限位孔6,所述的夾具3設有1-4個。
這樣結構的一種半導體致冷件夾具具有使用方便、加工效率高,操作簡單的優點。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





