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[實用新型]硅片切割的水清洗系統有效

專利信息
申請號: 201320443217.0 申請日: 2013-07-24
公開(公告)號: CN203408914U 公開(公告)日: 2014-01-29
發明(設計)人: 王誼 申請(專利權)人: 鎮江大成新能源有限公司
主分類號: B08B3/02 分類號: B08B3/02
代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 212132 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 硅片 切割 清洗 系統
【權利要求書】:

1.一種硅片切割的水清洗系統,其特征在于:包括預清洗機(1)、蓄水池(2)、水泵(3)、儲水桶(4),所述預清洗機(1)的排水口、所述蓄水池(2)、所述水泵(3)、所述儲水桶(4)依次通過管道連接,且所述儲水桶(4)通過管道連入所述預清洗機(1)的進水口。

2.?根據權利要求1所述的硅片切割的水清洗系統,其特征在于:所述預清洗機(1)的進水口通過管道連入水源(5)。

3.?根據權利要求1所述的硅片切割的水清洗系統,其特征在于:所述蓄水池(2)底部設置排污閥(6)。

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