[實用新型]多功能蝕刻機有效

申請號：	201320441834.7	申請日：	2013-07-24
公開（公告）號：	CN203373271U	公開（公告）日：	2014-01-01
發明（設計）人：	尹龍賢;郭廷君	申請（專利權）人：	惠晶顯示科技（蘇州）有限公司
主分類號：	C03C15/00	分類號：	C03C15/00
代理公司：	張家港市高松專利事務所(普通合伙) 32209	代理人：	孫高
地址：	215614 江蘇省蘇州市張家***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	多功能蝕刻
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【權利要求書】：

1.多功能蝕刻機，包括一臺主設備，其特征在于：還包括第一蝕刻液槽、第二蝕刻液槽和一個前清洗液槽，第一蝕刻液槽上設置有第一出料管，第一出料管上設置有第一輸送泵，第二蝕刻液槽上設置有第二出料管，第二出料管上設置有第二輸送泵，前清洗液槽上設置有前清洗液出料管，前清洗液出料管上設置有前清洗液輸送泵，主設備上設置有輸料總管，第一出料管、第二出料管和前清洗液出料管均連通至輸料總管；第一蝕刻液槽上設置有第一進料管，第一進料管上設置有第一進料閥，第二蝕刻液槽上設置有第二進料管，第二進料管上設置有第二進料閥，前清洗液槽上設置有前清洗液進料管，前清洗液進料管上設置有前清洗液進料閥，主設備上設置有進料總管，第一出料管、第二出料管和前清洗液出料管均連通至進料總管。

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