[實(shí)用新型]多功能蝕刻機(jī)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320441834.7 | 申請日： | 2013-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN203373271U | 公開（公告）日： | 2014-01-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 尹龍賢;郭廷君 | 申請（專利權(quán)）人： | 惠晶顯示科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | C03C15/00 | 分類號： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 張家港市高松專利事務(wù)所(普通合伙) 32209 | 代理人： | 孫高 |
| 地址： | 215614 江蘇省蘇州市張家*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多功能 蝕刻 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.多功能蝕刻機(jī)，包括一臺主設(shè)備，其特征在于：還包括第一蝕刻液槽、第二蝕刻液槽和一個前清洗液槽，第一蝕刻液槽上設(shè)置有第一出料管，第一出料管上設(shè)置有第一輸送泵，第二蝕刻液槽上設(shè)置有第二出料管，第二出料管上設(shè)置有第二輸送泵，前清洗液槽上設(shè)置有前清洗液出料管，前清洗液出料管上設(shè)置有前清洗液輸送泵，主設(shè)備上設(shè)置有輸料總管，第一出料管、第二出料管和前清洗液出料管均連通至輸料總管；第一蝕刻液槽上設(shè)置有第一進(jìn)料管，第一進(jìn)料管上設(shè)置有第一進(jìn)料閥，第二蝕刻液槽上設(shè)置有第二進(jìn)料管，第二進(jìn)料管上設(shè)置有第二進(jìn)料閥，前清洗液槽上設(shè)置有前清洗液進(jìn)料管，前清洗液進(jìn)料管上設(shè)置有前清洗液進(jìn)料閥，主設(shè)備上設(shè)置有進(jìn)料總管，第一出料管、第二出料管和前清洗液出料管均連通至進(jìn)料總管。
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