[實用新型]一種磁控濺射法高透型可鋼雙銀Low-E鍍膜玻璃有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320439576.9 | 申請日: | 2013-07-23 |
| 公開(公告)號: | CN203438622U | 公開(公告)日: | 2014-02-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王剛;夏衛(wèi)文;王德標(biāo);趙建楊 | 申請(專利權(quán))人: | 浙江格拉威寶玻璃技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | B32B17/06 | 分類號: | B32B17/06;B32B15/04;B32B33/00;C03C17/36 |
| 代理公司: | 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109 | 代理人: | 俞潤體;沈相權(quán) |
| 地址: | 311245 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 磁控濺射 法高透型可鋼雙銀 low 鍍膜 玻璃 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型是一種鍍膜玻璃,特別涉及一種磁控濺射法高透型可鋼雙銀Low-E鍍膜玻璃。
背景技術(shù)
目前市場上存在的磁控濺射法生產(chǎn)的雙銀Low-E鍍膜玻璃(以下稱雙銀Low-E),因為膜層結(jié)構(gòu)的原因,或者透過率較低,或者不可鋼化。顧名思義,雙銀Low-E即鍍膜玻璃膜層結(jié)構(gòu)中使用了兩層銀層,反應(yīng)到生產(chǎn)工藝上,即使用兩個工位的銀靶材,每一銀層的上下層要鍍?nèi)舾蓪咏橘|(zhì)層,這些介質(zhì)層起到的作用是:做Na+阻擋層、增強(qiáng)不同膜層之間的粘結(jié)力、對Ag層起到保護(hù)作用、調(diào)節(jié)鍍膜玻璃顏色和透過率等。可想而知,在雙銀Low-E中會鍍幾層至十幾層膜層,如此多層數(shù)的膜必然會對日光中的可見光產(chǎn)生強(qiáng)烈的吸收和反射,所以,市面上的雙銀普遍透過率比較低。另一方面,因為有兩層銀層,所有雙銀Low-E在膜層結(jié)構(gòu)設(shè)計時要充分考慮介質(zhì)層對銀層的保護(hù)性,必須保證膜層結(jié)構(gòu)設(shè)計合理、膜層沉積厚度適中、膜層沉積分布均勻。合理的膜層結(jié)構(gòu)設(shè)計對Low-E玻璃的透過率、鋼化性至關(guān)重要,膜層厚度和厚度均勻性是決定鍍膜玻璃顏色及其均勻性的關(guān)鍵因素,這些也都是目前可鋼雙銀Low-E設(shè)計和生產(chǎn)的瓶頸和難點。
中國專利201120242741.2,公開一種LOW-E鍍膜玻璃,包括玻璃基底層,以及與所述玻璃基底層依次疊加設(shè)置的第一電介質(zhì)層、第二電介質(zhì)層、第一阻擋層、金屬氧化物保護(hù)層、銀層、第二阻擋層、第三電介質(zhì)層、頂層電介質(zhì)保護(hù)層。此玻璃的透過率相對不足,同時對銀層的保護(hù)力度相對不足。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型主要是解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,結(jié)構(gòu)緊湊,膜層結(jié)構(gòu)合理,膜層厚度適中,膜層沉積均勻的一種磁控濺射法高透型可鋼雙銀Low-E鍍膜玻璃。
本實用新型的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的:
一種磁控濺射法高透型可鋼雙銀Low-E鍍膜玻璃,包括超白浮法玻璃,所述的超白浮法玻璃的上部設(shè)有與之相貼合的氮化硅膜層Ⅰ,所述的氮化硅膜層Ⅰ的上部設(shè)有與之相貼合的AZO膜層Ⅰ,所述的AZO膜層Ⅰ的上部設(shè)有與之相貼合的銀層Ⅰ,所述的銀層Ⅰ的上部設(shè)有與之相貼合的鎳鉻合金膜層Ⅰ,所述的鎳鉻合金膜層Ⅰ的上部設(shè)有與之相貼合的氧化鋅膜層Ⅰ,所述的氧化鋅膜層Ⅰ的上部設(shè)有與之相貼合的氮化硅膜層Ⅱ,所述的氮化硅膜層Ⅱ的上部設(shè)有與之相貼合的AZO膜層Ⅱ,所述的AZO膜層Ⅱ的上部設(shè)有與之相貼合的銀層Ⅱ,所述的銀層Ⅱ的上部設(shè)有與之相貼合的鎳鉻合金膜層Ⅱ,所述的鎳鉻合金膜層Ⅱ的上部設(shè)有與之相貼合的氧化鋅膜層Ⅱ,所述的氧化鋅膜層Ⅱ的上部設(shè)有與之相貼合的氮化硅膜層Ⅲ。
使用硅靶進(jìn)行反應(yīng)磁控濺射生成氮化硅膜層,氮化硅膜層具有很高的硬度、優(yōu)異的耐酸耐堿性、優(yōu)異的機(jī)械性能,是作為底層防Na+擴(kuò)散層和頂層保護(hù)層的理想材料;使用ZAO靶材和ZnAl靶材沉積形成的膜層具有很好的膜層性狀,膜層平整,可以作為銀層的種子層(沉積層),同時對銀層起到一定的抗氧化保護(hù)作用,提高Low-E鍍膜玻璃整體透過率。選用了鎳鉻靶材作為銀層的抗氧化保護(hù)層,鎳鉻合金靶材沉積形成鎳鉻合金膜層,該膜層具有很好的抗氧化性,在可鋼雙銀Low-E鋼化過程,可以作為Ag層的保護(hù)層(犧牲層)發(fā)生部分氧化,在部分氧化過程中,雙銀Low-E鍍膜玻璃的可見光透過率也會得到提高。
????作為優(yōu)選,所述的氮化硅膜層Ⅲ、氧化鋅膜層Ⅱ、鎳鉻合金膜層Ⅱ、銀層Ⅱ、AZO膜層Ⅱ、氮化硅膜層Ⅱ、氧化鋅膜層Ⅰ、鎳鉻合金膜層Ⅰ、銀層Ⅰ、AZO膜層Ⅰ、氮化硅膜層Ⅰ、超白浮法玻璃自上而下依次貼合而成。
??因此,本實用新型提供的一種磁控濺射法高透型可鋼雙銀Low-E鍍膜玻璃,結(jié)構(gòu)緊湊,透過率高,膜層厚度均勻,顏色均勻。
附圖說明
圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面通過實施例,并結(jié)合附圖,對本實用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說明。
????實施例:如圖1所示,一種磁控濺射法高透型可鋼雙銀Low-E鍍膜玻璃,包括超白浮法玻璃1,所述的超白浮法玻璃1的上部設(shè)有與之相貼合的氮化硅膜層Ⅰ2,所述的氮化硅膜層Ⅰ2的上部設(shè)有與之相貼合的AZO膜層Ⅰ3,所述的AZO膜層Ⅰ3的上部設(shè)有與之相貼合的銀層Ⅰ4,所述的銀層Ⅰ4的上部設(shè)有與之相貼合的鎳鉻合金膜層Ⅰ5,所述的鎳鉻合金膜層Ⅰ5的上部設(shè)有與之相貼合的氧化鋅膜層Ⅰ6,所述的氧化鋅膜層Ⅰ6的上部設(shè)有與之相貼合的氮化硅膜層Ⅱ7,所述的氮化硅膜層Ⅱ7的上部設(shè)有與之相貼合的AZO膜層Ⅱ8,所述的AZO膜層Ⅱ8的上部設(shè)有與之相貼合的銀層Ⅱ9,所述的銀層Ⅱ9的上部設(shè)有與之相貼合的鎳鉻合金膜層Ⅱ10,所述的鎳鉻合金膜層Ⅱ10的上部設(shè)有與之相貼合的氧化鋅膜層Ⅱ11,所述的氧化鋅膜層Ⅱ11的上部設(shè)有與之相貼合的氮化硅膜層Ⅲ12。所述的氮化硅膜層Ⅲ12、氧化鋅膜層Ⅱ11、鎳鉻合金膜層Ⅱ10、銀層Ⅱ9、AZO膜層Ⅱ8、氮化硅膜層Ⅱ7、氧化鋅膜層Ⅰ6、鎳鉻合金膜層Ⅰ5、銀層Ⅰ4、AZO膜層Ⅰ3、氮化硅膜層Ⅰ2、超白浮法玻璃1自上而下依次貼合而成。
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