[實用新型]一種熔體長晶用真空爐

有效

• 申請號: 201320436604.1
• 申請日: 2013-07-15
• 公開（公告）號: CN203420008U
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發明（設計）人: 姚泰;于永澔;韓杰才;張宇民
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域：

本實用新型涉及一種熔體長晶用的真空爐。

背景技術：

現有的熔體長晶用的真空爐溫場都采用鎢片和鉬片做隔熱屏，缺點是價格高，隔熱效果差，易變形，溫度梯度大，且溫場易發生變化，不易控制，增加熔體熱擾動幾率和晶體制備的難度，導致生產的產品成品率低，質量不穩定。

發明內容：

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種隔熱屏價格低，隔熱效果好，溫場穩定的熔體長晶用真空爐。

上述目的是這樣實現的：與現有技術相同的是它也包括設有真空系統的爐體，爐體上有大爐蓋，電極裝在大爐蓋上，大爐蓋上裝有小爐蓋，單晶提拉機構上裝有單晶旋轉機構，單晶旋轉機構固定在小爐蓋上，單晶旋轉機構下面裝有單晶提拉桿；爐體內有坩堝，坩堝置于坩堝托盤上，坩堝托盤置于托盤頂柱上，托盤頂柱立在爐底上，坩堝的上方有坩堝蓋，坩堝蓋上面有上隔熱屏，坩堝的外面有加熱器，加熱器與大爐蓋上的電極連接，加熱器的下面和四周有用鎢片或鉬片制作的下隔熱屏和側隔熱屏；與現有技術不同的是：在下隔熱屏下面設下保溫磚層，在側隔熱屏的外面設側保溫磚層，在上隔熱屏上方有內保溫磚蓋，在側隔熱屏和側保溫磚層上面有外保溫磚蓋，在側保溫磚層和爐體之間設不銹鋼護網，在不銹鋼護網與側保溫磚層之間填充氧化鋁空心球，在爐體和不銹鋼護網之間填充適量的氧化鋁空心球，一般填至爐體高的1/3-2/3即可。

本實用新型的優點是由于溫場的隔熱系統采用復合方式，內外采用不同材料進行隔熱，靠近發熱體的高溫部分采用鎢片或鉬片隔熱屏進行隔熱，在鎢片或鉬片隔熱屏外面的低溫部分采用保溫磚進行隔熱，在保溫磚外面填充氧化鋁空心球進行隔熱，不僅費用低，而且隔熱效果好，溫場穩定，用于熔體長晶產品成品率高，質量穩定。

附圖說明：

附圖是本實用新型的結構示意圖，圖中23為晶體，24為子晶。

具體實施方式：

參照附圖，它包括設有真空系統22的爐體8，爐體上有大爐蓋6，電極5裝在大爐蓋上，大爐蓋上裝有小爐蓋4，單晶提拉機構1上裝有單晶旋轉機構2，單晶旋轉機構固定在小爐蓋上，單晶旋轉機構下面裝有單晶提拉桿3；爐體內有坩堝19，坩堝置于坩堝托盤18上，坩堝托盤置于托盤頂柱16上，托盤頂柱立在爐底上，坩堝的上方有坩堝蓋20，坩堝蓋上面有上隔熱屏21，坩堝的外面有加熱器14，加熱器與大爐蓋上的電極5連接，加熱器的下面和四周有用鎢片或鉬片制作的下隔熱屏15和側隔熱屏12；在下隔熱屏下面設下保溫磚層17，在側隔熱屏的外面設側保溫磚層11，在上隔熱屏上方有內保溫磚蓋13，在側隔熱屏和側保溫磚層上面有外保溫磚蓋7，在側保溫磚層和爐體8之間設不銹鋼護網9，在不銹鋼護網與側保溫磚層之間填充氧化鋁空心球10，在爐體和不銹鋼護網之間填充適量的氧化鋁空心球，一般填至爐體高的1/3-2/3即可。