[實用新型]快速熱處理設備的測溫裝置有效

申請號：	201320434744.5	申請日：	2013-07-19
公開（公告）號：	CN203456424U	公開（公告）日：	2014-02-26
發明（設計）人：	孫建軍	申請（專利權）人：	上海華虹宏力半導體制造有限公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67;G01K11/00
代理公司：	上海浦一知識產權代理有限公司 31211	代理人：	殷曉雪
地址：	201203 上海市浦東***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	快速熱處理設備測溫裝置
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【權利要求書】：

1.一種快速熱處理設備的測溫裝置，冷壁圍出了一個冷腔，在該冷腔中由石英內襯又圍出了一個反應腔；冷壁上具有孔，石英內襯上具有透明的藍寶石窗口；在反應腔中設有石英硅片承載器，硅片固定于該石英硅片承載器上；其特征是，在反應腔中設有測溫標的物；設在冷壁外部的光學高溫計、冷壁上的孔、石英內襯上的藍寶石窗口、所述測溫標的物在一條直線上。

2.根據權利要求1所述的快速熱處理設備的測溫裝置，其特征是，所述測溫標的物為硅材料。

3.根據權利要求1所述的快速熱處理設備的測溫裝置，其特征是，所述測溫標的物至少完全覆蓋住石英襯底上的藍寶石窗口。

4.根據權利要求1所述的快速熱處理設備的測溫裝置，其特征是，在石英內襯的底部內側開設有凹陷部，測溫標的物固定在該凹陷部中。

5.根據權利要求4所述的快速熱處理設備的測溫裝置，其特征是，所述凹陷部至少完全覆蓋住石英襯墊上的藍寶石窗口。

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