[實用新型]一種應用于化學腐蝕制備多孔硅的氣泡消除裝置有效
| 申請號： | 201320430130.X | 申請日： | 2013-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN203440447U | 公開（公告）日： | 2014-02-19 |
| 發明（設計）人： | 曹惠婷 | 申請（專利權）人： | 曹惠婷 |
| 主分類號： | C23F1/08 | 分類號： | C23F1/08;C30B33/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 116000 遼寧省大連市甘井*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 應用于 化學 腐蝕 制備 多孔 氣泡 消除 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種應用于化學腐蝕制備多孔硅的氣泡消除裝置，包括基座、反應容器以及容器蓋，其特征在于：所述基座為長方體結構，從頂面向下開設容器槽，在容器槽底部鋪設電加熱管，在容器槽內安裝反應容器，在容器槽的頂口處安裝容器蓋；所述容器蓋頂部安裝電機，電機轉軸垂直向下穿過容器蓋，電機轉軸底端安裝攪拌葉。
2.根據權利要求1所述的一種應用于化學腐蝕制備多孔硅的氣泡消除裝置，其特征在于：在基座頂部安裝活塞管，在容器槽頂口側面開設透氣孔，所述透氣孔與活塞管通過導氣通道接通；在活塞管內安插活塞；在活塞管的底部設有單向出氣閥，在容器槽的透氣孔處設有另一個單向出氣閥。
3.根據權利要求1所述的一種應用于化學腐蝕制備多孔硅的氣泡消除裝置，其特征在于：在所述容器蓋頂部兩側對稱安裝提手。
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