[實用新型]成盒腔體抽真空裝置以及對盒裝置

有效

• 申請號: 201320426581.6
• 申請日: 2013-07-17
• 公開（公告）號: CN203348041U
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 徐風波
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: F04B41/02
• 分類號: F04B41/02;F04B41/06;F04B49/22
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種成盒腔體抽真空裝置，包括通過第一管路與成盒腔體相連的抽真空單元，其特征在于，還包括通過第二管路連接在所述成盒腔體與抽真空單元之間的至少一個真空腔；

所述成盒腔體和所述抽真空單元之間、所述成盒腔體與所述真空腔之間、所述真空腔與所述抽真空單元之間，均設置有閥門。

2.如權利要求1所述的成盒腔體抽真空裝置，其特征在于，所述抽真空單元包括若干個真空泵；

若干個所述真空泵通過第一管路與所述成盒腔體相連，通過第二管路與所述真空腔相連。

3.如權利要求2所述的成盒腔體抽真空裝置，其特征在于，所述真空泵包括干泵以及分子泵。

4.如權利要求2或3所述的成盒腔體抽真空裝置，其特征在于，所述第一管路和所述第二管路均在用于連接所述成盒腔體的一端設有N個與所述成盒腔體相連的連接點;

所述N不小于2。

5.如權利要求4所述的成盒腔體抽真空裝置，其特征在于，

所述抽真空單元分為N個抽真空子單元；

所述第一管路分為N條支路；

一條所述支路上設有一個所述連接點，并連接一個所述抽真空子單元；

所述抽真空子單元之間通過設有閥門的管路相連通。

6.如權利要求5所述的成盒腔體抽真空裝置，其特征在于，還包括開關控制器；

所述閥門均為電磁閥；

所述開關控制器，接收外界指令或根據內置指令，向所述電磁閥發送開關指令；

所述電磁閥接收并根據所述開關指令開啟或關閉。

7.如權利要求6所述的成盒腔體抽真空裝置，其特征在于，所述真空腔內設有用于過濾流向所述真空單元氣體的過濾器。

8.如權利要求7所述的成盒腔體抽真空裝置，其特征在于，所述真空腔與所述第二管路可拆卸連接。

9.一種對盒裝置，其特征在于，包括至少一個成盒腔體以及如權利要求1-8任一項所述的成盒腔體抽真空裝置，

其中所述成盒腔體與所述成盒腔體抽真空裝置通過管路相連。