[實用新型]一種真空密閉石英舟

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320425506.8
• 申請日: 2013-07-17
• 公開（公告）號: CN203683723U
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設計）人: 金虎;王增奎;周振義;彭鵬
• 申請（專利權）人: 常州二維碳素科技有限公司
• 主分類號: C30B29/02
• 分類號: C30B29/02;C30B25/12
• 代理公司: 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 金輝

技術領域

本實用新型涉及一種專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的設備，特別涉及一種石英舟。

背景技術

石墨烯是由單層碳原子緊密堆積成的二維蜂窩狀晶格結構的一種碳質(zhì)新材料，是已知材料中最薄的，它具有可以與石墨相比擬的導熱系數(shù)和硬度，具有良好的透光性，單層石墨烯透光率為97.7%。此外，由于石墨烯高電子遷移的特性，在微電子器件等領域有著極高的應用價值。目前制備石墨烯的方法很多，包括機械分離法，取向附生法，化學氣相沉積法（CVD），化學氧化還原法等。其中CVD法是實現(xiàn)工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的一種方法，石英舟是作為CVD法制備石墨烯的襯底承載工具。

石英玻璃是以二氧化硅物質(zhì)，如水晶、硅石、四氧化硅為原料高溫溶制而成，其二氧化硅含量比普通玻璃高得多，一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999%，石英玻璃制品的純凈度也非常高，即使在高溫狀態(tài)下，也不會向外釋放雜質(zhì)微粒。

CVD法制備石墨烯承載襯底的石英舟一般兩端開口，這種結構導致反應室抽真空時間長，且沉積結束后不能快速將氣相反應的副產(chǎn)物及時抽走，影響了石墨烯薄膜的質(zhì)量。此外，石英舟前后兩端共有4個圓柱支撐腳，相鄰兩個支撐腳的夾角呈90度，水平放置時，石英舟穩(wěn)定性差。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是解決上述不足，提供一種真空密閉石英舟。

實現(xiàn)本實用新型目的的技術方案是：一種真空密閉石英舟，具有管狀舟壁，至少4個支撐腳，分別位于石英舟前后兩端，所述管狀舟壁頭尾分別具有前端密封口和后端密封口與管狀舟壁共同形成了密閉的管狀舟體；所述管狀舟體內(nèi)部為真空狀態(tài)。

上述真空密閉石英舟，所述管狀舟體優(yōu)選的內(nèi)部壓力小于0.3Pa。

上述的真空密閉石英舟，優(yōu)選的所述支撐腳數(shù)量為4個。

上述的真空密閉石英舟，優(yōu)選的所述4個支撐腳分別位于石英舟前后兩端各2個，且對稱固定設置在管狀舟壁下方。

上述的真空密閉石英舟，優(yōu)選的所述支撐腳熔融焊接固定在管狀舟壁下方。

上述的真空密閉石英舟，所述石英舟前端的兩個支撐腳之間夾角與后端兩個支撐腳之間夾角可以相同，也可以不同，為91°—120°。

上述的真空密閉石英舟，優(yōu)選的所述夾角為120°。

上述的真空密閉石英舟，所述支撐腳為圓柱形、球形、半球形、截面為扇形且頂角為30°~180°的立體形狀，優(yōu)選的所述支撐腳為圓柱形、球形，更優(yōu)選的為圓柱形。

本實用新型具有積極的效果：（1）采用了密閉、真空結構的石英舟，使得CVD方法制備石墨烯時反應室抽真空速度快，沉積結束后能將反應的副產(chǎn)物及未反應的碳源和氫氣快速抽走；（2）石英舟每端兩個支撐腳，使得管內(nèi)的氣流均勻，并保證石英舟在管中的穩(wěn)定性；（3）石英舟使用時，環(huán)境溫度高，石英舟密閉真空，避免了內(nèi)部氣體受高溫劇烈膨脹而發(fā)生爆炸。

附圖說明

為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中

圖1為本實用新型的正剖結構示意圖；圖2為本實用新型的側剖結構示意圖。

其中1管狀舟壁；2支撐腳；3前端密封口；4后端密封口。

具體實施方式

見圖1，圖2，本實用新型具有管狀舟壁1，石英舟前端兩個支撐腳2、后端兩個支撐腳2，各支撐腳為圓柱形；管狀舟壁1頭尾分別具有前端密封口3和后端密封口4與管狀舟壁共同形成了密閉的石英舟體；所述真空密閉石英舟的內(nèi)部為經(jīng)抽真空處理的，處于真空狀態(tài)，內(nèi)部壓力為0.1Pa。所述石英舟前端兩個支撐腳2之間形成120°夾角，后端兩個支撐腳2之間形成120°夾角；各支撐腳熔融焊接在石英舟體上，位于管狀舟壁1的下方。

以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。