[實用新型]一種多晶硅純度優化設備

有效

• 申請號: 201320407628.4
• 申請日: 2013-07-10
• 公開（公告）號: CN203187408U
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 周勝平;王鳳詠;張勝濤;李瑞民;蘆方全;王林
• 申請（專利權）人: 中石化工建設有限公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多晶硅純度優化設備，包括加熱爐體、坩堝、加熱板、冷卻裝置、鑄型升降裝置，其特征在于：所述加熱爐體為一罩殼結構，該加熱爐體頂部設置有頂蓋，該加熱爐體一側連接有真空泵，另一側連接有閥體；所述坩堝設置在所述加熱爐體內，所述冷卻裝置設置在該坩堝底部，設置在加熱爐體底部的隔熱板與所述冷卻裝置、加熱爐體共同構成封閉腔體；所述坩堝外壁上設置加熱板；所述冷卻裝置設置有熱開關，該熱開關與所述坩堝的底部連接，該冷卻裝置的底部分別設置有冷卻水進口和冷卻水出口；冷卻裝置周邊設置有保溫壁，該保溫壁與所述隔熱板連接；所述鑄型升降裝置設置在冷卻裝置的下部。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅純度優化設備，其特征在于：所述坩堝為陶瓷坩堝，在坩堝的內壁上設有涂層。

3.根據權利要求1所述的一種多晶硅純度優化設備，其特征在于：所述爐體內設置有石墨加熱棒，該石墨加熱棒設置在坩堝的頂部。