[實(shí)用新型]一種用于單晶硅棒切斷的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320404674.9
• 申請(qǐng)日: 2013-07-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203460326U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘軍明;劉秦;郭櫻花;張素敏;曹勃
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 陜西西京電子科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D1/08
• 分類(lèi)號(hào): B28D1/08
• 代理公司: 西安文盛專(zhuān)利代理有限公司 61100
• 代理人: 佘文英

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及單晶硅切割工藝中減少硅棒搬動(dòng)的輔助裝置。

背景技術(shù)

單晶硅切割過(guò)程中，幾乎每一根硅棒都要進(jìn)行頭部和尾部切斷，而現(xiàn)在的工藝先需要把硅棒搬到切斷機(jī)工作平臺(tái)上進(jìn)行頭部（尾部）的切割，待切割完成后需要再次搬動(dòng)硅棒使硅棒轉(zhuǎn)動(dòng)180度進(jìn)行尾部（頭部）的切割。每切割一根棒硅棒最少需要搬動(dòng)兩次，這就造成工作強(qiáng)度較大，同時(shí)搬動(dòng)硅棒過(guò)程中可能會(huì)導(dǎo)致單晶硅棒碰撞，造成硅棒的損失。因此，為了減少切割工作強(qiáng)度和避免單晶硅棒因搬動(dòng)造成損失，在單晶硅棒切割過(guò)程中盡可能減少硅棒的搬動(dòng)次數(shù)尤為重要。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于單晶硅棒切斷的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，簡(jiǎn)單實(shí)用，可以有效減少切割工作強(qiáng)度和避免搬動(dòng)硅棒造成硅棒的損失。

實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種用于單晶硅棒切斷的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，包括固定平臺(tái)，其特征是在固定平臺(tái)上增加一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)，將固定螺栓插入固定圓孔中實(shí)現(xiàn)固定平臺(tái)和轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)的固定，在轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)底部設(shè)有凸起圓柱，在固定平臺(tái)上設(shè)有圓環(huán)凹槽轉(zhuǎn)動(dòng)軌道和軸承，轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)通過(guò)軸承使得凸起圓柱繞圓環(huán)凹槽轉(zhuǎn)動(dòng)軌道任意轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)在固定平臺(tái)上面任意角度轉(zhuǎn)動(dòng)。

其中固定圓孔設(shè)在兩平臺(tái)的四角，在轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)上的四個(gè)圓孔為通孔，在固定平臺(tái)上的四個(gè)圓孔為盲孔。

在進(jìn)行硅棒切割時(shí)，將硅棒固定在該裝置上，這樣被切割的單晶硅棒就可以在一端切割完畢后不需要再次將硅棒搬下來(lái)后再次安裝繼續(xù)切割，只需要通過(guò)該裝置將硅棒旋轉(zhuǎn)180度便可以對(duì)另一端進(jìn)行切割。本實(shí)用新型減少了單晶硅切割過(guò)程中硅棒的搬動(dòng)次數(shù)，可以有效降低切割的工作強(qiáng)度，同時(shí)也因?yàn)闇p少了單晶硅棒的搬動(dòng)次數(shù)可以較好的避免切割過(guò)程中單晶硅棒的損失。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是螺栓的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，在現(xiàn)有切割機(jī)的固定平臺(tái)1上增加一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3，這樣就有上下兩個(gè)工作臺(tái)面，其中轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3為硅棒固定臺(tái)面。將固定螺栓6插入固定圓孔2中實(shí)現(xiàn)兩平臺(tái)的固定，在轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3底部設(shè)有凸起圓柱4，在固定平臺(tái)1上設(shè)有圓環(huán)凹槽轉(zhuǎn)動(dòng)軌道5和軸承7，轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3可以通過(guò)軸承7使得凸起圓柱4繞圓環(huán)凹槽轉(zhuǎn)動(dòng)軌道5任意轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3在固定平臺(tái)1上面任意角度轉(zhuǎn)動(dòng)。

固定圓孔2設(shè)在兩平臺(tái)的四角，在轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3上的四個(gè)圓孔為通孔，在固定平臺(tái)1上的四個(gè)圓孔為盲孔。

在進(jìn)行單晶硅切割時(shí)，將單晶硅棒固定在轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3上，使用固定螺栓6通過(guò)兩平臺(tái)四角的固定圓孔2將固定平臺(tái)1和轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3固定在一起，避免切割過(guò)程中硅棒在鋸帶的作用下發(fā)生移位導(dǎo)致切割失敗。當(dāng)硅棒一端切割完成后需要對(duì)另一端進(jìn)行切割時(shí)，將固定螺栓6拔出，這時(shí)推動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3，使轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3轉(zhuǎn)動(dòng)180度，再次將固定螺栓6插入平臺(tái)四角的固定圓孔2中固定兩個(gè)平臺(tái)，進(jìn)行切割。在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，對(duì)于長(zhǎng)度較長(zhǎng)的單晶硅棒，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)3和固定平臺(tái)1成一定角度時(shí)，推動(dòng)硅棒向相反方向移動(dòng)，避免切割端硅棒過(guò)長(zhǎng)與鋸帶碰撞。這樣就可以減少切割工程中單晶硅棒的搬動(dòng)次數(shù)，從而降低單晶硅棒切割的工作強(qiáng)度，同時(shí)也可避免因?yàn)閱尉Ч璋舻陌釀?dòng)造成的損失。