[實用新型]一種液晶空間光調(diào)制器生成像差的共路干涉測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320400928.X
• 申請日: 2013-07-08
• 公開（公告）號: CN203365108U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 白福忠;王曉強;宋小燕;張鐵英;苗悅
• 申請（專利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種液晶空間光調(diào)制器生成像差的共路干涉測量裝置，它包括激光器(1)、擴束鏡(2)、起偏器(3)、分光棱鏡(4)、液晶空間光調(diào)制器(5)、四分之一波片(6)、檢偏器(7)、成像透鏡(8)、CCD探測器(9)和計算機(10)；激光器(1)出射的激光束入射至擴束鏡(2)，經(jīng)擴束鏡(2)擴束準(zhǔn)直后入射至起偏器(3)，經(jīng)起偏器(3)偏振后入射至分光棱鏡(4)，所述分光棱鏡(4)將線偏振光反射后入射至液晶空間光調(diào)制器(5)的光輸入端；所述液晶空間光調(diào)制器(5)將入射線偏振光反射并形成兩束正交線偏振光，其中一束偏振方向與所述液晶空間光調(diào)制器(5)的液晶光軸方向相垂直的光不被影響并將作為參考光，而另一束偏振方向與所述液晶空間光調(diào)制器(5)的液晶光軸方向相平行的光將被液晶空間光調(diào)制器(5)調(diào)制，調(diào)制量與驅(qū)動信號有關(guān)，將被作為測試光；所述測試光與參考光沿相同的光路經(jīng)分光棱鏡(4)透射后入射至四分之一波片(6)，經(jīng)四分之一波片(6)透射后均變成圓偏振光，并一起經(jīng)檢偏器(7)后發(fā)生干涉，依次旋轉(zhuǎn)檢偏器(7)產(chǎn)生0°、45°、90°和135°角，相應(yīng)得到四幀相位差為90°移相干涉圖；產(chǎn)生的移相干涉圖經(jīng)成像透鏡(8)成像于CCD探測器(9)并輸入計算機(10)進行處理；所述CCD探測器(9)的信號輸出端與計算機(10)的信號輸入端連接；所述液晶空間光調(diào)制器(5)的控制信號輸入端與計算機(10)的控制信號輸出端連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液晶空間光調(diào)制器生成像差的共路干涉測量裝置，其特征在于，所述起偏器(3)的透光軸與液晶空間光調(diào)制器(5)的液晶光軸方向成45°角。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液晶空間光調(diào)制器生成像差的共路干涉測量裝置，其特征在于，所述四分之一波片(6)的透光軸與液晶空間光調(diào)制器(5)的液晶光軸方向成45°角。