[實用新型]蓋板自動定位裝置有效
| 申請號: | 201320400806.0 | 申請日: | 2013-07-05 |
| 公開(公告)號: | CN203456429U | 公開(公告)日: | 2014-02-26 |
| 發明(設計)人: | 王丹名;孫泉欽;林偉;黃力 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人: | 王瑩 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 蓋板 自動 定位 裝置 | ||
1.一種蓋板自動定位裝置,其特征在于,包括:蓋板主體和下部電極板;
基板設置于所述下部電極板上,所述基板的面積小于下部電極板的面積;
所述蓋板主體為邊框形,其覆蓋所述基板的邊緣區域,所述蓋板主體下表面設有臺柱,所述臺柱接觸所述下部電極板;
所述臺柱上設有朝向下部電極板的凸起,所述下部電極板上設有與凸起相對應的凹槽,通過所述凸起置于所述凹槽中,使得蓋板主體與下部電極板進行對位。
2.如權利要求1所述的蓋板自動定位裝置,其特征在于,所述凸起的端部為圓角設計。
3.如權利要求1所述的蓋板自動定位裝置,其特征在于,所述凹槽的截面為梯形。
4.如權利要求1所述的蓋板自動定位裝置,其特征在于,所述凹槽的內表面底角采用圓角設計。
5.如權利要求1所述的蓋板自動定位裝置,其特征在于,所述下部電極板連接驅動單元,在驅動單元的作用下,所述下部電極板進行上升或下降運動。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





