[實用新型]用于支撐和輸送基板的裝置

有效

• 申請號: 201320397829.0
• 申請日: 2012-06-06
• 公開（公告）號: CN203391458U
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 詹佛朗哥·帕斯奎林;馬科·加里亞左;戴戈·唐尼;瓦倫蒂娜·福林;喬達諾·洛克;喬治歐·塞勒里
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: B41F17/00
• 分類號: B41F17/00;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 張欣

本申請是申請人于2012年6月6日提交的，申請號為“201220271512.8”，發明名稱為“用于支撐和輸送基板的裝置”的實用新型專利申請的分案申請。

技術領域

本發明的方面一般地涉及用于在基板上沉積印刷材料的方法和設備。本文所提出的一些實施例涉及例如在絲網印刷、噴墨印刷、激光印刷或其他技術中、用于沉積印刷跡線的設備的用于印刷基板的支撐和輸送裝置。實施例可用于例如通過在基板、板或諸如晶片、箔片或硅基物體等相似元件上使用多層圖案印刷導電跡線，來制作光伏電池。實施例也可以與來自提供印刷操作的其他領域的印刷支撐元件一起使用。

背景技術

已知用于制造太陽能電池、光伏電池或類似的半導體裝置的印刷機械，其利用單元（cell）、使用絲網印刷方法、通過適合的導電材料或者導電漿料（conductive?paste）或接觸漿料來實現電子電路和接觸。

在這樣的方法中一般使用的印刷機械包括與直線型輸送機或者具有旋轉工作臺的機器相關聯的適合的工作站，也叫做印刷巢，其中各個單元在支撐單元上遠離工作站和朝向工作站移動。印刷巢具有工作表面或平面，其中要被處理的基板每次都擱置在所述工作表面或平面上。

更具體而言，印刷巢包括設置有流體動力回路的支撐表面，其中流體動力回路具有相互連接的多個通道，其中多個通道朝向布置基板的表面開口，以制作單元。流體動力回路與吸入裝置相關聯，其中吸入裝置可以確定吸力（或比環境壓力低的壓力）和/或基板上的局部真空的狀態，以保持基板附著到印刷巢上并且防止基板從正確的印刷位置移動。諸如卷煙紙等透氣材料（transpirable?material）層布置在印刷巢的表面與基板之間，以防止印刷巢的表面在單元的印刷期間變臟，并且防止基板在其下表面上受到損壞。

一種方法用于將基板放置在印刷巢上，并且然后將基板帶入用于印刷操作的工作站。在印刷操作期間，在基板的面向印刷機械的表面上，制作導電跡線并且將（通過基板）的孔金屬化。在金屬化過程期間，孔完全或部分地填充金屬漿料（例如銀基金屬漿料），其中金屬漿料在單元的前表面（連接件可以直接連接到該前表面）與后表面之間具有導電和/或接觸功能。

在印刷操作期間，吸入回路的啟動具有正確地利用導電漿料填充存在于基板中的孔的功能。這允許使用所印刷的材料的流體性質。

因此，印刷巢所具有的流體動力回路執行在印刷期間保持要被印刷的基板的功能以及移動該基板的功能兩者，以及在印刷步驟中提供正確地并且完全地填充孔的功能。

然而，在該操作期間，經常發生導電漿料從基板泄露并且弄臟透氣材料層的情況，其中透氣材料層必須更換或恢復。為此，印刷巢通常設置有裝載器以加載透氣材料層，其中該裝載器包括與移動裝置相關聯的進給卷軸和收集卷軸。

假設印刷機械的較高生產力，需要透氣材料層的頻繁更換以防止其被沉積成形成不必要的厚度（其中隨后的晶片擱置在其上），這可能導致印刷缺陷和/或可能弄臟隨后的晶片。因此，透氣材料的頻繁更換可能引起不必要的導電條件和低質量的印刷。

透氣材料的頻繁更換也可能引起用于更換帶的頻繁停工，伴隨著由于更換的帶而帶來的增加的成本。此外，透氣材料的頻繁更換可能引入在放置和制造隨后的晶片時的發生錯誤的可能性。

而且，如果流體動力回路執行保持基板附著到印刷巢上的功能以及允許填充基板的孔的功能，由于這兩個功能需要不同的工作壓力，因此可能不能正確地控制這兩個動作。這在大多數時候導致基板的孔的非受控的填充以及漿料從單元的背面的不必要的泄露。

因此，需要提供在用于印刷跡線的沉積的設備中支撐和輸送印刷基板的設備和方法，其可避免導電漿料因意外而泄露。還需要基本上消除在前面的步驟中使用的印刷漿料意外地進入隨后的印刷操作。

另一個需要是提供這樣的設備和方法，該設備和方法允許將由于更換帶而產生的停工時間和成本以及由于印刷支撐件在帶上的不正確定位而產生的可能的印刷錯誤、限制為最低限度。

還需要通過適當地控制對基板的孔的填充水平來減少印刷漿料的浪費，從而可以調節金屬在孔內部的水平，從而可以是齊平的或者部分突出的。

申請人已經設計并測試了實施例，以克服本領域的狀態的缺點并且實現這些和其他的目的和優勢。

發明內容

在獨立權利要求中陳述并且描述了本發明，而從屬權利要求描述了本發明的其他特征或對主要發明思想的改變。