[實用新型]一種蝕刻檢驗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320394432.6
• 申請日: 2013-07-02
• 公開（公告）號: CN203414553U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設計）人: 鄧周慧
• 申請（專利權）人: 蘇州福萊盈電子有限公司
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02;G01N21/84
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種蝕刻檢驗裝置，其特征在于：包括工作臺(1)、滑軌(2)、活動支架(3)、機械手(4)、放大鏡裝置(5)和控制箱(6)；所述滑軌(2)安裝在工作臺(1)一側；所述活動支架(3)活動安裝在滑軌(2)內，且頂端懸掛有活動臂(7)；所述機械手(4)與活動臂(7)相連；所述放大鏡裝置(5)活動安裝在活動臂(7)上；所述控制箱(6)分別與活動支架(3)和機械手(4)線連。

2.根據權利要求1所述的蝕刻檢驗裝置，其特征在于：所述機械手(4)由不銹鋼材料制成。

3.根據權利要求1所述的蝕刻檢驗裝置，其特征在于：所述放大鏡裝置(5)包括活動桿和放大鏡。

4.根據權利要求1所述的蝕刻檢驗裝置，其特征在于：所述控制箱(6)為PLC控制箱。

5.根據權利要求1所述的蝕刻檢驗裝置，其特征在于：所述工作臺(1)兩端安裝有條形燈(8)。