[實用新型]真空室機械臂

有效

• 申請號: 201320390852.7
• 申請日: 2013-07-02
• 公開（公告）號: CN203331034U
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 江昌翰;鐘尚驊;黃德倫
• 申請（專利權）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類號: B25J15/00
• 分類號: B25J15/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 趙根喜;呂俊清

技術領域

本實用新型涉及搬運裝置，特別涉及一種應用于真空室內搬運玻璃基板的真空室機械臂。

背景技術

現行的化學氣相沉積設備（CVD），主要是以運行0.5t和0.4t玻璃基板為主，但是近幾年各家廠商不斷在研究0.3t玻璃是否可以用在顯示器，但玻璃薄化后，所面對問題的是玻璃在高溫機臺下的彎曲變形量所造成的影響，如玻璃破片和刮傷。

如圖1所示，現行的化學氣相沉積設備中，真空室機械臂5包括設于本體51上的兩支末端執行器52，末端執行器52表面具有多個支撐部件521，玻璃基板P在末端執行器52上面時，玻璃基板P邊緣到末端執行器的距離A、B、C大約為120mm，在化學氣相沉積真空室的高溫下，這段距離越大，如圖2所示，玻璃基板P的彎曲變形量也就會越大。這樣在放置在保持臺面6時，玻璃基板P應因變形位移而被頂桿61造成干涉，容易造成玻璃基板P的破片或劃傷。

實用新型內容

為解決現有技術的問題，本實用新型目的在于改造化學氣相沉積設備的搬運裝置，使設備適宜加工0.3t的玻璃基板，提供一種應用于真空室內更好地搬運玻璃基板的真空室機械臂。

本實用新型提供一種真空室機械臂，包括設于本體上的兩個末端執行器；所述兩個末端執行器的根部外側設有兩個向外延伸的支撐架。

根據一實施方式，所述支撐架呈L形，所述支撐架外端面向所述末端執行器的前端延伸。

根據一實施方式，所述末端執行器及支撐架表面具有多個支撐部件。

根據一實施方式，所述末端執行器前端安裝有至少一個橫向支撐部件，所述橫向支撐部件長度方向垂直于所述末端執行器。

根據一實施方式，所述橫向支撐部件具有橫向主體和下部的插接部；所述末端執行器前端具有插裝槽；所述插接部插入固定于所述插裝槽內，以此固定所述橫向支撐部件。

根據一實施方式，所述橫向支撐部件材質為耐熱塑料或耐熱橡膠。

根據一實施方式，所述橫向支撐部件材質為耐熱聚酰亞胺塑料、聚四氟乙烯塑料或耐熱氟橡膠。

根據一實施方式，所述橫向主體在寬度方向依次為耐熱塑料層、耐熱橡膠層及耐熱塑料層，所述耐熱橡膠層高于其它層。

根據一實施方式，所述橫向主體在寬度方向依次為耐熱橡膠層、耐熱塑料層及耐熱橡膠層，所述耐熱橡膠層高于其它層。

根據一實施方式，所述線性電機包括定子及動子，所述末端執行器及支撐架材質為陶瓷材料。

本實用新型相較于現有技術的有益技術效果在于：

本實用新型在真空室機械臂前后增加了支撐點，使玻璃基板在機械臂上的彎曲變形量減少，使玻璃基板在CVD設備內運行時，減少玻璃基板遇熱彎曲變形所造成破片和刮傷的風險。

附圖說明

圖1是現有機械臂支撐玻璃基板時的狀態示意圖；

圖2是現有機械臂搬運玻璃基板時的狀態示意圖；

圖3是本實用新型真空室機械臂結構示意圖；

圖4是本實用新型真空室機械臂支撐玻璃基板時的狀態示意圖。

附圖標記說明

本體21、?????????末端執行器22、??支撐架23

橫向支撐部件24、?耐熱塑料層241???耐熱橡膠層242

橫向主體240??????耐熱塑料層243???插接部244

支撐部件25???????玻璃基板P

機械臂5??????????本體51??????????末端執行器52

支撐部件521???保持臺面6???頂桿61。

具體實施方式

體現本實用新型特征與優點的實施方式將在以下的說明中詳細敘述。應理解的是本實用新型能夠在不同的實施方式上具有各種的變化，其皆不脫離本實用新型的范圍，且其中的說明及附圖在本質上是當作說明之用，而非用以限制本實用新型。

如圖3所示，本實用新型提供一種真空室機械臂2，包括本體21、末端執行器22、支撐架23、橫向支撐部件24及支撐部件25。

兩個末端執行器22以根部間隔地連接于本體21上，末端執行器22的寬度和厚度可從根部到前端逐漸縮小，這樣的外形具有最好的經濟性。且末端執行器22材質較佳為陶瓷材料。以適宜在真空室的高溫環境下運行。