[實用新型]一種用于光學特性參數測試的LED外延結構

有效

• 申請號: 201320387474.7
• 申請日: 2013-07-01
• 公開（公告）號: CN203351640U
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 梁秉文
• 申請（專利權）人: 光壘光電科技（上海）有限公司
• 主分類號: H01L33/04
• 分類號: H01L33/04;H01L33/36
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 楊林;馬翠平

技術領域

本實用新型涉及LED技術領域。更具體地講，涉及一種用于光學特性參數測試的LED外延結構。

背景技術

如圖1所示，現有的LED外延結構100在襯底200上沉積形成，LED外延結構100包括依次沉積于襯底200上的緩沖層10、第一半導體層20、量子阱層30、第二半導體層40。

為了在對LED外延結構100的光學特性參數進行測試，使得LED外延結構100產生的光能夠發出，在第二半導體層40上設置透明導電層50，在透明導電層50上設置接觸電極51和接觸電極52，通過接觸電極51將測試電流導入LED外延結構100中，而后測試電流由接觸電極52導出。LED外延結構100在通入測試電流的情況下發光，設置于LED外延結構100上方的光學分析單元300收集LED外延結構100發出的光，進而通過光學分析獲得LED外延結構100的光學特性參數，所述光學特性參數包括LED外延結構100發出的光的波長、亮度、光能效率等。

然而，在對現有的LED外延結構100進行測試時，測試電流在LED外延結構100中的流動路徑不固定，這使得測試區域的面積不固定，影響了測試的精度。同時，接觸電極51和接觸電極52位于測試區域上方，將部分來自量子阱層30發出的光阻擋，也影響了測試結果的準確性。并且，接觸電極51與LED外延結構100的接觸面積無法固定，因而測試電流進入LED外延結構100的電流擴展區域400不固定，這也影響了測試的精度和準確性。

實用新型內容

為了解決上述現有技術存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種用于光學特性參數測試的LED外延結構，包括在襯底上依次形成的緩沖層、第一半導體層、量子阱層、第二半導體層，在所述第二半導體層上設有第一透明導電層，所述LED外延結構中設有封閉的隔離槽，所述隔離槽環繞部分所述LED外延結構，形成測試島，所述測試島作為測試區域；其中，所述隔離槽至少貫穿所述第一透明導電層、第二半導體層和量子阱層，并且所述隔離槽位于所述緩沖層之上。

進一步地，所述第一透明導電層完全覆蓋所述測試島。

進一步地，所述第一透明導電層上設置有第二透明導電層，第二透明導電層覆蓋所述第一透明導電層，并且第二透明導電層向所述測試島周圍延伸形成延伸部，延伸部上設有至少一個接觸電極，測試島以外的LED外延結構的第三半導體層上設有至少一個接觸電極，測試電流通過所述延伸部上的接觸電極進入測試島，并通過測試島以外的LED外延結構的第三半導體層上的接觸電極流出測試島。

進一步地，所述延伸部上設有的接觸電極的數量為偶數，該偶數個接觸電極均勻設置于所述延伸部上。

進一步地，所述隔離槽的形狀為正多邊形環或圓形環。

進一步地，所述隔離槽的寬度為0.7mm～3.0mm。

本實用新型提供的用于光學特性參數測試的LED外延結構中設置有封閉的隔離槽，該隔離槽將部分LED結構進行隔離形成測試島，該測試島的面積固定，利用該測試島作為光學特性測試的測試區域的面積固定，與現有技術的測試區域的面積不固定相比，本實用新型提高了測試的精度；并且在測試該LED外延結構的光學特性參數的過程中，在接觸電極與測試島之間設置第一透明導電層和第二透明導電層，將接觸電極與測試島的接觸面積固定，使得測試電流的流動路徑固定，提高了測試的精度以及測試的準確度。另外，接觸電極設置在第二透明導電層的延伸部上，避免接觸電極將測試島中發出的光線阻擋，進一步提高了測試的準確度；而且，延伸部上設有的接觸電極的數量為偶數，該偶數個接觸電極均勻設置于延伸部上，這樣便于測試電流均勻擴展，進一步提高了測試精度。

附圖說明

圖1示出了一種現有的LED外延結構及測試其光學特性參數的示意圖。

圖2示出了根據本實用新型的實施例1的LED外延結構的俯視圖。

圖3示出了圖2的A-A向視圖及測試根據本實用新型的實施例1的LED外延結構的光學特性參數的示意圖。

圖4示出了根據本實用新型的實施例2的LED外延結構的立體圖。

具體實施方式

現在對本實用新型的實施例進行詳細的描述，其示例表示在附圖中，其中，相同的標號始終表示相同部件。下面通過參照附圖對實施例進行描述以解釋本實用新型。在下面的描述中，為了避免公知結構和/或功能的不必要的詳細描述所導致的本實用新型構思的混淆，可省略公知結構和/或功能的不必要的詳細描述。

實施例1