[實用新型]用于切割晶棒的可旋轉卡具和切割工具

有效

• 申請號: 201320387097.7
• 申請日: 2013-07-01
• 公開（公告）號: CN203485321U
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 周連永;劉文森;王元立;劉建偉;李春鵬
• 申請（專利權）人: 北京通美晶體技術有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 北京北翔知識產權代理有限公司 11285
• 代理人: 潘飛;楊勇

技術領域

本實用新型涉及一種卡具，更具體地，涉及一種用于加工晶棒的可旋轉卡具。?

背景技術

晶片（例如硅晶片、GaAs晶片等）廣泛用于半導體行業。在制造晶片的過程中，首先利用晶體生長方法獲得晶棒（也稱為晶錠），然后將晶棒切割成晶片。切割完成之后，還需經歷研磨、刻蝕和清洗，以及拋光等工序來最終獲得可供制造半導體器件使用的晶片。?

通常，在將晶棒切割成晶片的過程中主要應用兩種設備：內圓鋸和線鋸，其中內圓鋸主要用于晶棒定向端面切平，而線鋸是將已定向的晶棒切割成晶片。此外，在線據切割前需要將端面切平的晶棒與線鋸工作臺借由石墨作為介質粘接在一起，且線鋸切割晶棒時通常要求晶棒長邊（與晶體的內部結構有關，平行于內部晶體排列方向）與水平面或石墨成一角度，例如一般成約45°、135°、225°或315°的夾角。若晶棒長邊平行或垂直于水平面，很可能會使切割的晶片變形。因此，在內圓鋸中通過需要使用一種卡具來固定晶棒。?

參見圖1和圖2，示出現有技術中的一種典型的用于內圓鋸的卡具。所示卡具包括一個固定座4、一個套筒3和兩個螺釘2；粘接（例如，通過環氧樹脂膠等）有石墨5的晶棒1至少部分地置于套筒3內以進行切割，通過兩個螺釘2將晶棒1和套筒3固定；其中晶棒長邊6的方向是固定的，與水平面成45°或135°的夾角。?

然而，上述卡具在操作中存在以下缺陷：?

（1）晶棒只能固定在一個角度（例如45°或135°）上加工；?

（2）由于石墨粘接與晶體長邊的夾角精度要求較高，易造成晶棒在內圓鋸上切割時角度調整不準確，而多次調整切割會造成材料浪費、效率降低或者無法達到角度精度要求；?

（3）為確保晶棒長邊與石墨的加工角度要求，石墨通常在晶棒計?算完長邊角度后再粘接，使加工周期延長，加工效率下降；以及?

（4）若石墨在晶棒計算長邊角度前粘接，則在計算晶棒長邊角度時需要將X光機上面測量的數值計算后再額外地帶入偏轉公式來計算調整數值，增加了計算時間，且存在運算錯誤的風險，同樣使加工效率下降。?

因此，極需一種改進的卡具來解決現有技術中的上述缺陷。?

實用新型內容

本實用新型提供一種新穎的可旋轉卡具，其解決了現有技術中的上述缺陷，使得晶棒能夠以任意旋轉角度切割，消除石墨粘接誤差，加工效率大大提高。?

具體地，本實用新型提供一種用于切割晶棒的可旋轉卡具，該可旋轉卡具包括：?

一個套筒，具有中空的內部以容納至少部分的待加工的晶棒；?

至少一個第一緊固件，穿過所述套筒緊固所述晶棒；?

一個套筒支架，支撐所述套筒；?

至少一個第二緊固件，穿過所述套筒支架緊固所述套筒；以及?

一個旋轉軸，將所述套筒與所述套筒支架連接并帶動所述套筒旋轉。?

在本實用新型的一個優選實施方案中，所述可旋轉卡具能夠360°旋轉。?

在本實用新型的一個優選實施方案中，所述套筒具有圓筒形的外部形狀。?

在本實用新型的一個優選實施方案中，所述套筒支架具有一個凹進部，以容納所述套筒并提供支撐。?

在本實用新型的一個優選實施方案中，所述凹進部與所述套筒的底部形狀適配。?

在本實用新型的一個優選實施方案中，所述套筒的中空的內部具有與晶棒適配的形狀，并在內部的底側具有一個凹下的構造。?

在本實用新型的一個優選實施方案中，所述第一緊固件和所述第二緊固件是穿透式螺釘。?

在本實用新型的一個優選實施方案中，所述可旋轉卡具還包括一個固定座，固定連接至一切割裝置。?

在本實用新型的一個優選實施方案中，所述切割裝置是內圓鋸。?

本實用新型還提供一種切割工具，其包括根據上述的可旋轉卡具和內圓鋸。?

本實用新型的可旋轉卡具具有以下優勢：?

（1）晶棒能夠以任意旋轉角度切割；?

（2）消除石墨粘接的誤差，在內圓鋸上切割角度準確、縮短切割次數、減少材料浪費且提高加工效率；?

（3）石墨不必在做完晶棒長邊角度后進行粘接，可以提前粘接石墨，節省時間，提高加工效率；?

（4）在計算晶棒長邊時，只需通過X光機測量的數值來直接計算調整數值，不再需要額外地帶入偏轉公式進行二次計算，節省了計算時間，也降低了計算誤差，同樣使加工效率提高。?

附圖說明