[實用新型]一種雙懸臂梁式微機械加速度傳感器有效
| 申請號： | 201320386159.2 | 申請日： | 2013-07-02 |
| 公開（公告）號： | CN203324300U | 公開（公告）日： | 2013-12-04 |
| 發明（設計）人： | 孫遠程;袁明權;張茜梅;王海青;武蕊;屈明山 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院電子工程研究所 |
| 主分類號： | G01P15/12 | 分類號： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 中國工程物理研究院專利中心 51210 | 代理人： | 翟長明;韓志英 |
| 地址： | 621900 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 懸臂梁 式微 機械 加速度 傳感器 | ||
1.一種雙懸臂梁式微機械加速度傳感器，其特征在于：所述的傳感器包括敏感芯片和下玻璃板（5）；其中，敏感芯片含有框架（1）、第一懸臂梁（21）、第二懸臂梁（22）、第一質量塊（31）、第二質量塊（32）、第一壓敏電阻（41）、第二壓敏電阻（42）、第三壓敏電阻（43）、第四壓敏電阻（44），其連接關系是，所述框架（1）內設置有兩個相互獨立的第一懸臂梁（21）和第二懸臂梁（22），第一懸臂梁（21）的一端與框架（1）相連，另一端與第一質量塊（31）相連，第二懸臂梁（22）的一端與框架（1）相連，另一端與第二質量塊（32）相連；第一懸臂梁（21）、第二懸臂梁（22）、第一質量塊（31）、第二質量塊（32）共同構成敏感芯片的可動部分；第一壓敏電阻（41）、第二壓敏電阻（42）設置在第一懸臂梁（21）上表面；第三壓敏電阻（43）、第四壓敏電阻（44）設置在第二懸臂梁（22）上表面，所述的敏感芯片與下玻璃板（5）通過鍵合連接。
2.根據權利要求l所述的雙懸臂梁式微機械加速度傳感器，其特征在于：所述的敏感芯片中的第一懸臂梁（21）與第二懸臂梁（22）結構相同，第一質量塊（31）與第二質量塊（32）結構相同。
3.根據權利要求1?所述的雙懸臂梁式微機械加速度傳感器，其特征在于：所述的敏感芯片中的可動部分與下玻璃板（5）之間的距離為2μm～200μm。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國工程物理研究院電子工程研究所，未經中國工程物理研究院電子工程研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201320386159.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
