[實用新型]線鋸機的斷線接續治具

有效

• 申請號: 201320382866.4
• 申請日: 2013-06-28
• 公開（公告）號: CN203471977U
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 蘇俊僑;徐敏偉
• 申請（專利權）人: 綠能科技股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周長興

技術領域

本實用新型是關于一種線鋸機的斷線接續治具，尤其指一種適用于半導體材料切割技術的線鋸機的斷線接續治具。?

背景技術

硅片切割工藝始于由單晶硅或多晶硅材料制成的實心硅錠。常利用線鋸將硅錠裁成方塊，然后再切割成很薄的硅片。這些晶體硅片就被用作制造光伏電池的襯底。如今的線鋸切割大多數是通過多線切割技術實現的。?

如圖1所示，為公知線鋸機的立體圖，線鋸機1主要以直徑為110μm-140μm的單根切割線11纏繞在四導輪12上，這種導輪12開槽精細且槽距均勻，形成平行切割線的水平網狀結構或切割線網13。而在切割線11起始及結束部分設有一入線軸14及一收線軸15，用以提供足夠的張力及驅動力。強大的驅動力使整張網在約為每秒10米到20米的相對高速下運行。線鋸機1所采用的漿料，一種由耐磨粒子加冷卻液制成的切削液，例如:將碳化硅粉末加入石蠟油中，通過二漿料噴嘴16輸送到運動中的切割線11上。切割線11將漿料傳送到切割區。?

此切割區的設計包含上下二層工作臺17、171，可同時進行切割動作，以增進工作效率。接著如圖2所示，為公知線鋸機切割半導體材料的立體圖。將待切割的四硅錠18固定在上下工作臺17、171上并且與切割線逆向作垂直運動。此一動作將硅錠18推過切割線網13，同時產生大量的硅塊或硅片。?

接著，請參閱圖3，為公知線鋸機繞線配置的示意圖。其線鋸機2主要結構包括有：一線軸室21、一切割室22、一切割線23，線軸室21具有一新線軸211、一收線軸212、二張力控制裝置241、242及六導引輪251、252、253、254、255、256，切割室22具有一入線導引輪221及一收線導引輪222，切割線23繞行于新線軸211、第一導引輪251、第二導引輪252、?第三導引輪253、入線導引輪221、收線導引輪222、第四導引輪254、第五導引輪255、第六導引輪256、及收線軸212以形成切割線網231。?

在多線鋸切割系統中，切割運動基本上是一種快速的三體磨損過程，其特點在于使用了一種基于滾動及壓入的切割機制。然而，在高速切割的過程中，勢必會發生切割線網231中間斷線的情況，這時基于成本與繞線時間上的考慮，一般來說并不會將整個線鋸機2的切割線23重繞，而是藉由調整收線導引輪222至斷線處并舍棄斷線處一側的切割線網231，因而減損了切割面積，造成了硅錠產能的損失。?

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種線鋸機的斷線接續治具，以能在切割線網中間斷線的情況下，斷線處經焊接后，接續并導引二分隔的切割線網，以節省成本同時達到維持產能的效用。?

為實現上述目的，本實用新型提供的線鋸機的斷線接續治具，線鋸機包括有：一線軸室、一切割室及一切割線，該線軸室具有一新線軸及一收線軸，該切割室具有一入線導引輪及一收線導引輪，該切割線繞行于該新線軸、該入線導引輪、該收線導引輪及該收線軸以形成一切割線網，該斷線接續治具用以在該切割線于切割一工件發生斷線時重新建立該切割線網，包括有：一第一輔助導引輪裝置、一第二輔助導引輪裝置及一第三輔助導引輪裝置，依前述輔助導引輪裝置的次序導引該切割線，使該切割線繞行于該新線軸、該入線導引輪、該收線導引輪及該收線軸以形成該切割線網。?

上述每一導引輪裝置可包括有：一固定座、一滑軌、一導引輪、一定位件及一張力調整件，滑軌固設于固定座，導引輪滑設于滑軌上，定位件用以定位導引輪于滑軌上，張力調整件固設于滑軌上并抵頂導引輪。藉由調整導引輪的定位及張力調整件的松緊程度，以改變切割網線的張力強度并導引切割線的移動路線。?

第一導引輪裝置與該第三導引輪裝置可固設于切割室。而第二導引輪裝置可固設于線軸室。由此配置方式，能方便切割線的移動。?

新線軸與入線導引輪之間可固設有一張力控制裝置，而收線導引輪與?收線軸之間亦可設有一張力控制裝置，切割線可繞經二張力控制裝置，用以控制該切割線于切割過程中維持一定的張力。另外，上述的工件，可為半導體材料或硅錠等其他不同材料。?

附圖說明

圖1為公知線鋸機的立體圖。?

圖2為公知線鋸機切割半導體材料的立體圖。?

圖3為公知線鋸機繞線配置的示意圖。?

圖4為本實用新型線鋸機的斷線接續治具一較佳實施例的示意圖。?

圖5為本實用新型線鋸機的斷線接續治具一較佳實施例的導引輪裝置的立體圖。?

附圖中主要組件符號說明：?