[實用新型]取晶機有效
| 申請號: | 201320379324.1 | 申請日: | 2013-06-28 |
| 公開(公告)號: | CN203339122U | 公開(公告)日: | 2013-12-11 |
| 發明(設計)人: | 朱玉萍;岑剛 | 申請(專利權)人: | 嘉興景焱智能裝備技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽;黃燕石 |
| 地址: | 314100 浙江省嘉興市嘉善*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 取晶機 | ||
1.一種取晶機,包括取晶臂、垂直驅動裝置和旋轉驅動裝置,所述垂直驅動裝置驅動所述取晶臂上下運動,所述旋轉驅動裝置驅動所述取晶臂轉動,其特征在于:所述旋轉驅動裝置設置在所述垂直驅動裝置的下方,所述取晶臂設置在所述旋轉驅動裝置的下方,所述取晶臂通過一個長軸連接至所述垂直驅動裝置,所述長軸的中間穿過所述旋轉驅動裝置的中空轉軸。
2.根據權利要求1所述的取晶機,其特征在于:所述長軸為花鍵軸,所述旋轉驅動裝置的轉軸為花鍵孔轉軸。
3.根據權利要求1所述的取晶機,其特征在于:所述垂直驅動裝置包括驅動電機及垂直傳動部件,所述垂直傳動部件將所述驅動電機的旋轉運動轉化為垂直運動傳遞給所述長軸。
4.根據權利要求3所述的取晶機,其特征在于:所述垂直傳動部件為絲桿傳動部件或凸輪傳動部件。
5.根據權利要求2所述的取晶機,其特征在于:所述旋轉驅動裝置包括中空伺服電機,所述中空伺服電機的兩端分別安裝花鍵套。
6.根據權利要求1至5中任一項所述的取晶機,其特征在于:在所述長軸上設置運動感應器,所述感應器電連接至所述取晶機的控制單元,所述感應器用于將所述長軸的垂直運動信息和旋轉運動信息傳遞給所述控制單元。
7.根據權利要求1至5中任一項所述的取晶機,其特征在于:所述取晶機還包括支架,所述支架為框形結構,所述旋轉驅動裝置設置在所述框形結構的開口內,所述垂直驅動部件設置于所述框形結構的上方。
8.根據權利要求1至5中任一項所述的取晶機,其特征在于:在所述取晶臂的前端設置吸嘴。
9.根據權利要求1至5中任一項所述的取晶機,其特征在于:所述取晶臂上開有多個通孔。?
10.根據權利要求1至5中任一項所述的取晶機,其特征在于:所述取晶臂的轉動范圍為0至180度,所述取晶臂的垂直運動范圍為0至50mm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





