[實(shí)用新型]一種硅片周轉(zhuǎn)清洗盒有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320378310.8 | 申請(qǐng)日： | 2013-06-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203316454U | 公開（公告）日： | 2013-12-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 柳廷全 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 宇駿（濰坊）新能源科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B13/00 | 分類號(hào)： | B08B13/00;H01L21/673 |
| 代理公司： | 濰坊正信專利事務(wù)所 37216 | 代理人： | 王秀芝 |
| 地址： | 261061 山東省濰坊*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硅片 周轉(zhuǎn) 清洗 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種硅片周轉(zhuǎn)清洗盒，包括盒體,其特征在于：在所述盒體相對(duì)的兩端分別設(shè)有向下延伸的翻邊，所述盒體內(nèi)置有可拆卸的托架，所述托架相對(duì)的兩端高出所述盒體并向外及向下延伸形成用于卡合所述翻邊的卡合槽，所述翻邊卡合于所述卡合槽內(nèi)；所述托架的上表面設(shè)有橡膠墊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片周轉(zhuǎn)清洗盒，其特征在于：所述托架上設(shè)有若干用于承載硅片的W形槽或半W形槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片周轉(zhuǎn)清洗盒，其特征在于：所述翻邊的長(zhǎng)度大于或等于所述卡合槽的長(zhǎng)度。
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