[實用新型]玻璃表面刻蝕裝置

有效

• 申請號: 201320378087.7
• 申請日: 2013-06-27
• 公開（公告）號: CN203382660U
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發明（設計）人: 張輝;成敢為
• 申請（專利權）人: 彩虹顯示器件股份有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 蔡和平

技術領域

本實用新型屬于平板玻璃制造領域，具體涉及一種玻璃表面刻蝕裝置。

背景技術

通過熔融工藝制造的玻璃片具有非常光滑的表面，在生產過程中不會對在玻璃片上將要設置的顯示元件（例如薄膜晶體管和濾光片等）主表面造成傷害。工作人員發現，在實際中越光滑的表面越容易在加工過程中產生靜電，而對玻璃表面進行刻蝕以降低其光滑度可以降低靜電發生的可能性，因此，可以在不影響玻璃光學特性的前提下對玻璃進行蝕刻。現有技術中雖然也有用于玻璃表面刻蝕的裝置，但是由于該裝置只能在真空環境下應用，操作環境要求嚴格，且僅適用幾十平方厘米的光伏玻璃片的蝕刻，不能適用于大面積的普通玻璃板的蝕刻。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供了一種玻璃表面蝕刻裝置，該裝置在普通玻璃片生產線上使用，且能夠對大面積普通玻璃片進行蝕刻。

為了達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：包括玻璃輸送裝置、蝕刻氣體發生裝置以及至少一組由非接觸式蝕刻箱體單元和背部蓋板組成的刻蝕主體，所述的玻璃輸送裝置位于非接觸式蝕刻箱體單元和背部蓋板之間；非接觸式蝕刻箱體單元內設置有蝕刻氣體輸入管道，蝕刻氣體發生裝置的蝕刻氣體輸出口與蝕刻氣體輸入管道相連通，在蝕刻氣體輸入管道上接有噴射刻蝕氣體的噴嘴。

所述的蝕刻氣體輸入管道在非接觸式蝕刻箱體單元上布置的方向與玻璃片傳送的方向垂直。

所述的蝕刻氣體輸入管道的兩側分別設有一個安裝有線型抽風口的出風管道，出風管道設置在非接觸式蝕刻箱體單元內。

所述的蝕刻氣體輸入管道和出風管道平行設置在非接觸式蝕刻箱體單元內，且出風管道的一端與外界相通。

所述的噴嘴為一個或多個，當噴嘴為一個時，噴嘴為線型噴嘴。

所述的玻璃輸送裝置由設置在刻蝕主體兩端的若干組驅動滾輪以及用于對玻璃片起支撐過渡作用的若干組無動力驅動小輪組成，且每組刻蝕主體中的非接觸式蝕刻箱體單元布置在玻璃輸送裝置下方時，若干組無動力驅動小輪設置在非接觸式蝕刻箱體單元上；每組刻蝕主體中的非接觸式蝕刻箱體單元布置在玻璃輸送裝置上方時，若干組無動力驅動小輪設置在背部蓋板上。

所述的刻蝕主體中的非接觸式蝕刻箱體單元布置在玻璃輸送裝置下方或玻璃輸送裝置上方。

所述的背部蓋板內部安裝有加熱系統。

所述的蝕刻氣體發生裝置為一組或多組等離子發生器，且等離子發生器的刻蝕氣體輸出口與刻蝕主體中的非接觸式蝕刻箱體單元中的蝕刻氣體輸入管道相連通。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于：

本實用新型在非接觸式蝕刻箱體單元內設置與蝕刻氣體輸出口相連通的蝕刻氣體輸入管道，該蝕刻氣體輸入管道上開設有接有噴射刻蝕氣體以刻蝕玻璃片的噴嘴；因此，當一定比例的四氟化碳氣體和水蒸氣通過蝕刻氣體發生裝置后產生的蝕刻氣體進入非接觸式蝕刻箱體單元內的蝕刻氣體輸入管道，并通過接在蝕刻氣體輸入管道的噴嘴噴出，而位于非接觸式蝕刻箱體單元和背部蓋板之間的玻璃輸送裝置上安放有正在傳送的玻璃片，蝕刻氣體噴到正在傳送的玻璃片，從而實現玻璃片一個表面的蝕刻；同時由于噴嘴能夠覆蓋玻璃片，所以本實用新型能夠在普通玻璃片生產線上使用，且能夠對大面積普通玻璃片進行蝕刻。

附圖說明

圖1是四氟化碳和水氣經過等離子化后生成用于酸氣刻蝕的HF和CO₂氣體混合物的示意圖。

圖2是常壓下玻璃表面蝕刻裝置對運動玻璃片上表面的刻蝕示意圖的主視圖；

圖3是常壓下玻璃表面蝕刻裝置對運動玻璃片上表面的刻蝕示意圖的俯視圖；

圖4是常壓下玻璃表面刻蝕裝置對運動玻璃片下表面的刻蝕示意圖的主視圖；

其中，1、非接觸式蝕刻箱體單元，2、驅動滾輪，3、線型噴嘴，4、線型抽風口，5、無動力驅動小輪，6、蝕刻氣體輸入管道，7、背部蓋板，8、出風管道，9、玻璃片。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明。