[實用新型]用于硅片生產的熱交換器清潔裝置

有效

• 申請號: 201320377647.7
• 申請日: 2013-06-27
• 公開（公告）號: CN203405124U
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 秦玉文
• 申請（專利權）人: 宇駿（濰坊）新能源科技有限公司
• 主分類號: F28G9/00
• 分類號: F28G9/00;F28G15/00
• 代理公司: 濰坊正信專利事務所 37216
• 代理人: 王秀芝

1.一種用于硅片生產的熱交換器清潔裝置，其特征在于：其包括循環水罐，所述循環水罐的出水口通過循環水進水管與熱交換器的物料入口相連通，所述循環水進水管上設有循環泵，循環水罐的回水口通過循環水回水管與所述熱交換器的物料出口相連通；

所述循環水罐的熱水進水口通過熱水進水管連通熱水源，所述熱水進水管上設有熱水泵，所述循環水罐的自來水進水口連通自來水源，所述自來水源與所述循環水罐之間的管道上設有第一控制閥；

所述循環水罐的清洗液入口連通清洗液源，所述清洗液源與所述循環水罐之間的管道上設有第二控制閥，所述循環水罐的下部設有排水管，所述排水管上設有第三控制閥。

2.如權利要求1所述的用于硅片生產的熱交換器清潔裝置，其特征在于：所述循環水罐內設有溫度傳感器，所述溫度傳感器的信號輸出端電連接計算機控制單元；所述計算機控制單元的信號輸出端分別與所述循環泵、所述熱水泵、所述第一控制閥、所述第二控制閥以及所述第三控制閥的信號輸入端電連接。