[實用新型]研磨墊整理器及研磨裝置

有效

• 申請號: 201320373724.1
• 申請日: 2013-06-26
• 公開（公告）號: CN203317219U
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 唐強
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017;B24B37/04
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種研磨墊整理器，其特征在于，包括兩個整理盤、兩個整理盤驅動電機、支架、支架驅動電機以及驅動臂，所述支架驅動電機安裝于所述驅動臂的一端，所述支架驅動電機驅動所述支架旋轉，所述整理盤驅動電機安裝于所述支架的兩端，所述整理盤驅動電機分別驅動對應的整理盤旋轉。

2.根據權利要求1所述的研磨墊整理器，其特征在于，還包括清洗液供應管和所述清洗液噴頭，所述清洗液噴頭安裝于所述支架的底部并位于所述兩個整理盤之間，所述清洗液供應管和所述清洗液噴頭連接，所述清洗液供應管的主體部分沿所述驅動臂的軸向設置于所述驅動臂內。

3.根據權利要求2所述的研磨墊整理器，其特征在于，所述清洗液噴頭呈圓盤狀，其上分布若干噴口，所述若干噴口分別和所述清洗液供應管連通。

4.根據權利要求1所述的研磨墊整理器，其特征在于，所述整理盤包括基座以及研磨盤，所述研磨盤安裝于所述基座上。

5.根據權利要求4所述的研磨墊整理器，其特征在于，所述研磨盤的外表面設有圓形通道和若干由內向外發散的流道，所述流道的內端連接于所述圓形通道，所述流道的外端連接于所述圓磨盤的外邊緣，相鄰的流道之間的區域均勻設有若干研磨顆粒。

6.根據權利要求5所述的研磨墊整理器，其特征在于，所述若干由內向外發散的流道圍繞所述圓形通道均勻設置。

7.根據權利要求5所述的研磨墊整理器，其特征在于，所述流道為拋物線型。

8.根據權利要求5所述的研磨墊整理器，其特征在于，所述流道的寬度由內向外依次變寬。

9.根據權利要求1所述的研磨墊整理器，其特征在于，所述支架呈圓形。

10.一種研磨裝置，包括研磨墊、研磨平臺和研磨頭，所述研磨墊鋪設于所述研磨平臺上，所述研磨頭設置于所述研磨墊上，其特征在于，包括如權利按要求1～9中任意一項所述的研磨墊整理器，所述研磨墊整理器設置于所述研磨墊上。