[實用新型]液體槽裝置

有效

• 申請號: 201320372528.2
• 申請日: 2013-06-26
• 公開（公告）號: CN203345513U
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 何*;楊小軍
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B65D90/50
• 分類號: B65D90/50
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種液體槽裝置，其特征在于，所述裝置包括：

液體槽、供液管、進液管、第一監測管、第一溢出液位監測器以及干燥裝置，其中，所述供液管與所述液體槽底部相連，所述進液管伸入所述液體槽內部，所述第一監測管的兩端分別與所述液體槽的上部和底部連通，所述第一溢出液位監測器設置在所述第一監測管上，所述干燥裝置設置在所述第一監測管上。

2.如權利要求1所述的液體槽裝置，其特征在于，所述干燥裝置為一氣吹裝置，所述氣吹裝置包括氣體管路、手動閥和調節閥；所述手動閥和調節閥設置在所述氣體管路上；所述氣體管路伸入所述第一監測管內，所述氣體管路的出氣口靠近所述第一溢出液位監測器。

3.如權利要求1所述的液體槽裝置，其特征在于，所述干燥裝置為一震動裝置，所述震動裝置包括震動器和震動環；所述震動環設置于所述第一監測管靠近所述第一溢出液位監測器的位置，所述震動器與震動環連接。

4.如權利要求3所述的液體槽裝置，其特征在于，所述震動環距離所述第一溢出液位監測器為1cm～5cm。

5.如權利要求1所述的液體槽裝置，其特征在于，所述液體槽裝置還包括第二監測管，所述第二監測管與第一監測管平行，所述第二監測管的兩端分別與第一監測管的兩端連接并均與液位槽的上部與底部相連。

6.如權利要求5所述的液體槽裝置，其特征在于，所述第二監測管上設有第二溢出液位監測器。

7.如權利要求6所述的液體槽裝置，其特征在于，所述第二監測管上設有多個第二液位監測器，所述第二液位監測器位于第二溢出液位監測器下方，所述第二液位監測器由下自上包括第二低液位監測器、第二中液位監測器以及第二高液位監測器。

8.如權利要求1所述的液體槽裝置，其特征在于，所述液體槽裝置還包括多個第一液位監測器，所述第一液位監測器設置在所述第一監測管上，并位于所述第一溢出液位監測器下方，所述第一液位監測器由下自上包括第一低液位監測器、第一中液位監測器以及第一高液位監測器。

9.如權利要求1所述的液體槽裝置，其特征在于，所述液體槽裝置還包括溢出管以及排氣管，所述溢出管設置于所述液體槽側壁靠近頂部的位置，所述排氣管設置于所述液體槽的頂部。

10.如權利要求1所述的液體槽裝置，其特征在于，所述進液管為兩個。