[實用新型]硅片切割機床的砂漿過濾系統

有效

• 申請號: 201320367291.9
• 申請日: 2013-06-25
• 公開（公告）號: CN203391128U
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 劉彬國;何京輝;李立偉;史彪
• 申請（專利權）人: 邢臺晶龍電子材料有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B01D29/35;B01D29/37
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 米文智

技術領域

本實用新型涉及切割機床的過濾系統技術領域。

背景技術

NTC?WMW442型機床屬于硅片切割設備，原有的砂漿循環過濾裝置，只在砂漿參與切割以后，回流至砂漿缸的過程中，經過切割室和砂漿缸所配置的砂漿過濾網時，被動的進行一次過濾，而在砂漿每次進入切割室前沒有任何的過濾裝置，這樣會造成存在于砂漿缸內的沉淀物，進入砂漿的浮塵等雜質，隨著砂漿的進入機床參與到硅片切割中，因此會在切割時造成線網跳線，硅片表面線痕、劃痕等影響硅片表面質量的問題，如果進入的雜質顆粒較大，還有可能造成斷線事故，給生產帶來極大不便，給公司造成重大損失。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種提高砂漿在硅片切割過程中的潔凈程度，保持砂漿過濾的持續、不間斷性，從而提高硅片切割質量和降低廢品率的硅片切割機床砂漿過濾系統。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是：

一種硅片切割機床的砂漿過濾系統，包括硅片切割室、過濾網和砂漿罐，過濾網設置在硅片切割室與砂漿罐之間，還包括過濾罐，過濾罐設置在砂漿罐與硅片切割室之間，所述過濾罐與砂漿罐、硅片切割室間通過管件相連通。

優選的，所述過濾罐與砂漿罐、硅片切割室間的管路上設有閥門。

優選的，所述過濾罐包括罐體、罐蓋和內置過濾網，內置過濾網設置在罐體內，罐蓋設置在罐體的開口端，罐蓋與罐體之間為鉸連接和螺栓連接，罐蓋與罐體之間設有密封墊，罐體的罐壁上部設有進口，罐壁下部設有出口。

優選的，所述內置過濾網為120目不銹鋼過濾網。

優選的，罐蓋上設有把手。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：增加過濾罐后可以提高砂漿在硅片切割過程中的潔凈程度，改變機床原過濾裝置只能被動過濾的現狀，保持砂漿過濾的持續、不間斷性，從而提高硅片切割質量和降低廢品率，過濾罐安裝簡單，內置過濾網更換方便，具有很強的實用性。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構框圖；

圖2是圖1?中過濾罐4的整體輪廓圖；

圖3是圖2打開狀態下的立體圖；

圖4是圖2中的內置過濾網7的結構示意圖；

圖中：1-硅片切割室，2-過濾網，3-砂漿罐，4-過濾罐，5-罐體，6-罐蓋，7-內置過濾網，8-把手，9-進口，10-出口，11-提手。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

如圖1所示，一種硅片切割機床的砂漿過濾系統，包括硅片切割室1、過濾網2和砂漿罐3，過濾網2設置在硅片切割室1與砂漿罐3之間，還包括過濾罐4，過濾罐4設置在砂漿罐3與硅片切割室1之間，硅片切割室1間通過管件相連通，所述過濾罐4內置120目不銹鋼過濾網，所述過濾罐4與砂漿罐3、硅片切割室1間的管路上設有閥門；優選的，所述過濾罐4包括罐體5、罐蓋6和內置過濾網7，內置過濾網7設置在罐體5內，罐蓋6設置在罐體5的開口端，罐蓋6與罐體5之間為鉸連接和螺栓連接，方便拆卸。罐蓋6與罐體5之間設有密封墊，所述內置過濾網7為120目不銹鋼過濾網，罐蓋上設有把手8，便于操作。

具體實施方法為，在NTC?WMW442型硅片切割機床的循環管路上，增加了一個砂漿過濾罐4，內置120目超細不銹鋼過濾網2，在砂漿開始循環時，先進入過濾罐4進行過濾，然后再進入機床的硅片切割室1，在砂漿參與切割以后，回流至砂漿罐3的過程中，經過硅片切割室1和砂漿罐3所配置的砂漿過濾網2時，再進行一次過濾。過濾罐4包括罐體5、罐蓋6和內置過濾網7，使用時打開罐蓋6，罐蓋6與罐體5鉸連接，裝入內置過濾網7，為了便于操作，內置過濾網7的開口端邊緣設有提手11，提手11與內置過濾網7活動鉸連接，內置過濾網7處于罐體5的中下部，在內置過濾網7的上邊且在罐體5的罐壁上部設有進口9，罐壁下部設有出口10,裝入內置過濾網7后，蓋上罐蓋6，上緊4個緊固螺栓，砂漿由過濾罐4的進口9進入罐體5內，經過內置過濾網7的過濾，由罐壁下部的出口10出來，再進入機床的硅片切割室1，如此一來，在砂漿進入機床硅片切割室1前，先完成一次過濾，去除大部分的雜質，再參與切割，在增加了過濾罐4后，NTC?MWM442型機床的砂漿循環、過濾系統在砂漿進入機床到參與切割，完全處于密閉狀態，杜絕了外來雜質的進入，同時可以將切割時進入砂漿的雜質過濾干凈，如此砂漿在循環過程中，不間斷的進行過濾，始終保證了進入機床砂漿的潔凈度。

采用此種硅片切割機床的砂漿過濾系統可以提高砂漿在硅片切割過程中的潔凈程度，改變了NTC?WMW442型機床原有過濾裝置只能被動過濾的現狀，保持砂漿過濾的持續、不間斷性，可以避免在切割時造成線網跳線，硅片表面線痕、劃痕等影響硅片表面質量的問題，同時避免了顆粒較大雜質進入系統內，避免了斷線事故的發生，降低了廢品率，保證了生產的順利進行。?