[實用新型]三英寸鍍鎳硅片用不銹鋼燒結花籃

有效

• 申請號: 201320367256.7
• 申請日: 2013-06-25
• 公開（公告）號: CN203300617U
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: 陳春香;楊懷
• 申請（專利權）人: 南通皋鑫電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及硅片用花籃，具體涉及一種三英寸鍍鎳硅片用不銹鋼燒結花籃。

背景技術

目前擴散硅片在一次鍍鎳后要進行燒結,以使表面鎳層與硅在高溫下形成Ni-Si合金,然后再進行二次鍍鎳。一、二次鍍鎳硅片置于塑料花籃內，每花籃25片。燒結硅片用工裝為不銹鋼燒結花籃，燒結前要將待燒結硅片從塑料花籃轉入不銹鋼燒結花籃，燒結完成后再將硅片轉入二次鍍鎳用塑料花籃作二次鍍鎳。燒結使用的不銹鋼花籃規格為30片，轉換使用的塑料花籃規格為25片，不銹鋼花籃與塑料花籃轉換操作時差出5片須手工夾取，影響生產效率。且每爐放置2花籃60片燒結，燒結爐恒溫區尚存有較大余量，恒溫區沒有充分利用，造成能源浪費。

發明內容

為了解決上述問題，本實用新型提出了一種三英寸鍍鎳硅片用不銹鋼燒結花籃,轉換硅片時方便，提高工作效率，充分利用燒結爐恒溫區，節省能源。

為了達到上述發明目的，本實用新型提出了以下技術方案：

三英寸鍍鎳硅片用不銹鋼燒結花籃，它包括籃體、底框、提手框和防護框，籃體上開有卡槽，籃體兩側上端連有提手框，底框連接在籃體下面，防護框位于籃體外側中間，且連接在籃體兩邊，籃體上端向外張開，籃體上卡槽數量為25個。

所述的底框中間橫向連接有橫梁。

??本實用新型的優點是：

1）由原每花籃裝片30片改為25片，與燒結前后塑料花籃配對轉換，提高了工藝操作性和生產效率。

2）充分利用了燒結爐恒溫區長度，原每爐兩花籃60片，現每爐3花籃75片，生產效率可提高25%，同時節約電能25%。

附圖說明

圖1是本實用新型的示意圖。

具體實施方式

為了對本實用新型進一步的說明，下面結合說明書附圖來介紹：

參照附圖1，三英寸鍍鎳硅片用不銹鋼燒結花籃，它包括籃體1、底框2、提手框3和防護框4，籃體上開有卡槽5，籃體1兩側上端連有提手框3，底框2連接在籃體1下面，防護框4位于籃體1外側中間，且連接在籃體1兩邊，籃體1上端向外張開，籃體1上卡槽5數量為25個。

所述的底框2中間橫向連接有橫梁6。