[實用新型]一種升華法制備氮化鋁晶體的生長裝置

有效

• 申請號: 201320364361.5
• 申請日: 2013-06-10
• 公開（公告）號: CN203295659U
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: 武紅磊;鄭瑞生;徐百勝;閆征;鄭偉;李萌萌
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: C30B23/06
• 分類號: C30B23/06;C30B29/38
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種升華法制備氮化鋁晶體的生長裝置，由主加熱器(4)、頂加熱器(3)、側屏蔽層(5)、頂屏蔽層(2)和底屏蔽層(6)組成，其中，所有屏蔽層均為全金屬熱反射屏，每個屏蔽層相互獨立，且內部尺寸均按階梯狀分布。?

2.根據權利要求1所述的生長裝置，其特征在于，頂加熱器(3)是由圓形鎢板切割加工而成近“W”形的圓盤，兩端分別與2個引出電極(1)焊固。?

3.根據權利要求1所述的生長裝置，其特征在于主加熱器(4)是由矩形鎢板切割加工成“矩形波”形狀后再在高溫下整體合圍成的閉合圓筒。?

4.根據權利要求1或3所述的生長裝置，其特征在于主加熱器(4)由圓筒同一側的三等分處分別與3個引出電極(1)連接焊固。?

5.根據權利要求1所述的生長裝置，其特征在于，側屏蔽屏(5)由內向外依次為3-9層的鎢圓筒以及3-6層的鉬圓筒，圓筒之間經由鎢桿穿孔定位后焊固而成，筒高度呈階梯狀分布，相鄰筒間的距離為3-15毫米。?

6.根據權利要求1所述的生長裝置，其特征在于，頂屏蔽層(2)由內部為6-15層鎢圓板及外部為3-6層鉬圓板經由鎢桿穿孔定位后焊固而成，鎢、鉬圓板的直徑呈階梯狀增大，相鄰兩圓板間的距離為3-15毫米。?

7.根據權利要求1所述的生長裝置，其特征在于，底屏蔽層(6)由上向下依次為鎢盤、鎢支架、6-15層鎢圓板和3-6層鉬圓板，各組件之間經由鎢桿定位后焊固，其中，鎢、鉬圓板的直徑呈階梯狀增大，相鄰兩圓板間的距離為3-15毫米。?

8.根據權利要求1所述的生長裝置，其特征在于所有的焊固均為氬弧焊固。?