[實(shí)用新型]一種真空鍍膜機(jī)的臺車位置檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320361586.5
• 申請日: 2013-06-24
• 公開（公告）號: CN203307430U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛輝;昌江
• 申請（專利權(quán)）人: 蕪湖真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34107
• 代理人: 馬榮

1.一種真空鍍膜機(jī)的臺車位置檢測裝置，包括磁導(dǎo)軌（7），其特征在于：還包括光纖發(fā)射器（1）、光纖接收器（2），所述的光纖發(fā)射器（1）的光纖頭與光纖接收器（2）的光纖頭分別穿過兩個(gè)光纖定位板（4）設(shè)置在磁導(dǎo)軌（7）兩側(cè)基板上開設(shè)的腰型孔中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜機(jī)的臺車位置檢測裝置，其特征在于：所述檢測裝置還包括真空室腔體頂板（6）、設(shè)置在真空室腔體頂板（6）上的支撐座（5）及法蘭端蓋（3），所述光纖發(fā)射器（1）和光纖接收器（2）均安裝在所述支撐座（5）的上端面上，所述的光纖發(fā)射器（1）與其光纖頭之間的光纖穿過法蘭端蓋（3），所述的光纖接收器（2）與其光纖頭之間的光纖穿過另一個(gè)法蘭端蓋（3）。