[實用新型]一種真空鍍膜機的真空室旋轉傳送機構

有效

• 申請號: 201320361545.6
• 申請日: 2013-06-24
• 公開（公告）號: CN203307428U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 薛輝;昌江
• 申請（專利權）人: 蕪湖真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/56
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 馬榮

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜機技術領域，特別涉及一種真空鍍膜機的真空室旋轉傳送機構。

背景技術

現有的旋轉傳送機構，驅動部分主要是通過柔性帶連接方式，此種方式不僅結構復雜，而且同步帶在如此大的重力下工作，其使用壽命不長，需經常更換同步帶，且每次更換都會對水路、氣路及電路的安裝產生一些影響，為正常生產中帶來了一系列的不便。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是，針對現有技術的不足，提供一種結構簡單合理、性能穩定、使用壽命長、安裝更換方便的真空鍍膜機的真空室旋轉傳送機構。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是：一種真空鍍膜機的真空室旋轉傳送機構，包括真空室、設置在真空室內的旋轉臺、設置在真空室外的旋轉臺驅動機構，所述的旋轉臺包括旋轉軸、對稱設置在旋轉軸兩側的臺車傳動機構，所述的旋轉臺驅動機構包括電機、采集旋轉臺轉動角度信號的光柵尺，所述的真空室的頂部設有拖鏈。

所述的光柵尺將采集的旋轉臺轉動角度信號傳輸到電機控制器。

所述的旋轉臺還包括上端蓋板、下端蓋板、連接上下端蓋板的旋轉臺連接桿，所述的臺車傳動機構設置在下端蓋板上。

所述的真空室的室壁上設有分別與兩個臺車傳動機構位置對應的臺車入口、臺車出口。

所述的旋轉臺驅動機構還包括設置在真空室頂部的磁流體。

所述的加熱器安裝在旋轉臺連接桿上。

本實用新型采用上述結構，具有以下優點：1、結構簡單合理、性能穩定、使用壽命長、安裝更換方便；2、與傳統的帶傳動方式相比較，本實用新型的傳動精度要比帶傳動的精度高出很多。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明；

圖1為本實用新型的截面結構示意圖；

圖2為本實用新型的結構示意圖；

圖3為本實用新型的外部結構圖；

在圖1~圖3中，1、光柵尺；2、電機；3、磁流體；4、旋轉軸；5、真空室；6、真空室內加熱器；7、臺車傳動機構；8、下端蓋板；9、拖鏈；10、旋轉臺連接桿；11、上端蓋板；12、臺車入口；13、臺車出口。

具體實施方式

如圖1~圖3所示一種真空鍍膜機的真空室旋轉傳送機構，包括真空室5、設置在真空室5內的旋轉臺、設置在真空室5外的旋轉臺驅動機構，旋轉臺包括旋轉軸4、對稱設置在旋轉軸4兩側的臺車傳動機構7，旋轉臺驅動機構包括電機2、采集旋轉臺轉動角度信號的光柵尺1，真空室5的頂部設有拖鏈9。旋轉臺驅動機構帶動旋轉臺運動從而實現旋轉功能。

光柵尺1將采集的旋轉臺轉動角度信號傳輸到電機控制器。旋轉臺還包括上端蓋板11、下端蓋板8、連接上下端蓋板的旋轉臺連接桿10，臺車傳動機構7設置在下端蓋板8上。臺車傳動主要是通過同步帶帶動磁流體上面的滾輪，從而使位于其上的臺車進行運動，其驅動部分是通過電機帶動。真空室5的室壁上設有分別與兩個臺車傳動機構7位置對應的臺車入口12、臺車出口13。旋轉臺驅動機構還包括設置在真空室5頂部的磁流體3及一些感應開關。加熱器6安裝在旋轉臺連接桿10上。

真空室內加熱器器6、臺車傳動機構7等主要工作部件均安裝于旋轉臺之上。磁流體3安裝于真空室頂部，連接著驅動電機2和旋轉軸4，其中旋轉軸4位于真空室內，即位于真空區域，磁流體3起到了連接與密封的作用。如圖3所示，當帶有基片的臺車通過臺車入口12進入到該真空室內，臺車通過臺車傳動機構7進行運動，臺車到達指定旋轉位置時候，驅動電機2將得到信號進行工作。當驅動電機2得到信號之后，將帶動旋轉軸4旋轉180°，從而帶動旋轉臺旋轉180°，然后停止旋轉。此時在臺車傳動機構7的作用下，帶有基片的臺車將從真空室門13出來，進入到下一個真空室腔體，該旋轉傳送機構完成了一個動作。在驅動電機2帶動旋轉軸4進行旋轉的過程中，光柵尺1會一直記錄其旋轉的角度，并進行數據的傳送，當到達指定角度的時候，會有一個信號反饋給驅動電機2，使其停止。真空室頂部的水管、氣管和電纜的安裝均通過拖鏈9，當旋轉臺進行旋轉的過程中，拖鏈9將起到保護這些管路及電纜，使其不至于發生纏繞或者扯斷。