[實(shí)用新型]半導(dǎo)體制造系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320361049.0
• 申請(qǐng)日: 2013-06-21
• 公開（公告）號(hào): CN203351563U
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任杰;黃穎泉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 光壘光電科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，包括：控制裝置及半導(dǎo)體設(shè)備，所述控制裝置與所述半導(dǎo)體設(shè)備相互連接，使得所述控制裝置與所述半導(dǎo)體設(shè)備之間能夠通信；所述控制裝置包括顯示設(shè)備，所述顯示設(shè)備上顯示圖形化圖標(biāo)；所述控制裝置用于在所述顯示設(shè)備上的圖形化圖標(biāo)被觸發(fā)時(shí)，控制所述半導(dǎo)體設(shè)備的工作狀態(tài)和/或獲取所述半導(dǎo)體設(shè)備的工作狀態(tài)。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，所述顯示設(shè)備上顯示的圖形化圖標(biāo)的數(shù)量為一個(gè)或者多個(gè)，所述半導(dǎo)體設(shè)備的數(shù)量為一個(gè)或者多個(gè)，每個(gè)所述半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)應(yīng)一個(gè)或者多個(gè)所述顯示設(shè)備上顯示的圖形化圖標(biāo)。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備包括多個(gè)功能模塊。

4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，所述圖形化圖標(biāo)包括圖形化設(shè)備圖標(biāo)及圖形化模塊圖標(biāo)，其中，當(dāng)所述圖形化設(shè)備圖標(biāo)觸發(fā)時(shí)，所述控制裝置控制所述半導(dǎo)體設(shè)備的工作狀態(tài)和/或獲取所述半導(dǎo)體設(shè)備的工作狀態(tài)；當(dāng)所述圖形化模塊圖標(biāo)觸發(fā)時(shí)，所述控制裝置控制所述功能模塊的工作狀態(tài)和/或獲取所述功能模塊的工作狀態(tài)。

5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，所述顯示設(shè)備包括一個(gè)或者多個(gè)篩選鍵，所述篩選鍵能夠使得所述顯示設(shè)備顯示符合篩選條件的圖形化設(shè)備圖標(biāo)和/或圖形化模塊圖標(biāo)。

6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，所述篩選鍵包括全圖標(biāo)篩選鍵，所述全圖標(biāo)篩選鍵能夠使得所述顯示設(shè)備顯示所有的圖形化設(shè)備圖標(biāo)和圖形化模塊圖標(biāo)。

7.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，所述顯示設(shè)備包括home鍵，所述home鍵能夠控制所述顯示設(shè)備進(jìn)入主界面，所述主界面上基于用戶需求顯示多個(gè)圖形化設(shè)備圖標(biāo)和/或圖形化模塊圖標(biāo)。

8.如權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，所述顯示設(shè)備包括上移鍵及下移鍵，其中，所述上移鍵能夠控制所述顯示設(shè)備當(dāng)前顯示的界面上移，所述下移鍵能夠控制所述顯示設(shè)備當(dāng)前顯示的界面下移。

9.如權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，通過操作所述顯示設(shè)備，所述顯示設(shè)備前后顯示了多個(gè)界面；所述顯示設(shè)備包括前進(jìn)鍵及后退鍵，其中，所述后退鍵能夠控制所述顯示設(shè)備進(jìn)入當(dāng)前顯示的界面的前一界面，所述前進(jìn)鍵能夠控制所述顯示設(shè)備進(jìn)入當(dāng)前顯示的界面的后一界面。

10.如權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備包括MOCVD設(shè)備。

11.如權(quán)利要求3～7中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，所述功能模塊包括加熱模塊、氣體輸送模塊、廢氣處理模塊、反應(yīng)腔室模塊或者電氣控制模塊。

12.如權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其特征在于，所述顯示設(shè)備為觸摸顯示屏，通過觸摸所述觸摸顯示屏實(shí)現(xiàn)觸發(fā)所述圖形化圖標(biāo)。