[實用新型]氣體反應連續腔

有效

• 申請號: 201320360231.4
• 申請日: 2013-06-20
• 公開（公告）號: CN203333756U
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 曾昭隆;廖科峰;邱文鼎;趙子銘;黃世壬;汪宇炎;黎勝;何文福
• 申請（專利權）人: 生陽新材料科技（寧波）有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/58;H01L31/18
• 代理公司: 廣東國欣律師事務所 44221
• 代理人: 李文

技術領域

本實用新型是與用以進行氣體反應（例如硒化反應）的裝置有關，特別是關于一種氣體反應連續腔。

背景技術

在半導體制程中，時常包含有進行氣體反應的步驟，例如CIGS（Copper?Indium?Gallium?Selenide）太陽能電池中的銅銦鎵硒玻璃板，其玻璃基板濺鍍銅、銦、鎵、硒等材料后，需加熱至能使硒產生氣體反應（亦即硒化反應）的溫度，以于玻璃基板上合成出CIGS半導體薄膜。

現有進行氣體反應的方式，是將已鍍有反應材料的基板設置于一呈真空狀態或設有特定氣體（例如氮氣）的封閉腔室內，且該腔室內設有加熱器（例如紅外線加熱器），然后，先將基板溫度從室溫升高到氣體反應所需的溫度（例如硒化反應需達攝氏500～550度），且升溫速度不可過快以免基板破裂，氣體反應完成之后，需先將基板逐漸降溫到攝氏200度以下，才能將基板自該腔室取出，以避免基板因與室溫的溫差過大而破裂。

然而，前述過程相當費時，而且，該腔室內必須依序完成加熱、反應及冷卻的步驟后，才能再對另一基板重復進行同樣的過程，因此其效率不佳而仍有待改進。

發明內容

有鑒于上述缺失，本實用新型的主要目的在于提供一種氣體反應連續腔，可對受反應物進行加熱、氣體反應及冷卻的步驟，且具有良好的效率。

為達成上述目的，本實用新型所提供的氣體反應連續腔包含有至少三腔室、至少四隔離裝置以及一位于該數個腔室及該數個隔離裝置內的輸送裝置，各個該腔室位于二該隔離裝置之間，藉以使該數個腔室能呈氣密狀態。該輸送裝置具有一前端、一后端以及能供該隔離裝置穿過的至少四空隙，該輸送裝置用以設置一受反應物，并帶動該受反應物朝向該前端移動進而通過該數個腔室。其中，該數個腔室包含有依序排列的一預熱腔室、一反應腔室及一冷卻腔室，該預熱腔室、該反應腔室及該冷卻腔室分別設置一位于該輸送裝置上方的上加熱器，用以朝向該受反應物的一頂面作用而調整該受反應物的溫度，該反應腔室及該冷卻腔室分別具有一反應氣體輸入口。

藉此，該受反應物依序在預熱腔室、反應腔室及冷卻腔室分別進行加熱、氣體反應及冷卻的步驟，而且，完成氣體反應的受反應物通過反應腔室及冷卻腔室的過程中，該反應腔室及該冷卻腔室內的反應氣體可避免受反應物上仍為氣態反應材料過度散逸。如此一來，該氣體反應連續腔不但可使受反應物的氣體反應效果良好；而且，預熱腔室、反應腔室及冷卻腔室內的加熱器可分別維持在符合其功能的溫度，因而可較快速地將受反應物調節至各階段所需的溫度；再者，預熱腔室、反應腔室及冷卻腔室可同時分別供不同的受反應物進行不同的步驟，意即，不需等到一受反應物完成所有步驟才讓另一受反應物開始進行該數個步驟，因此，本實用新型所提供的氣體反應連續腔具有較習用者更高的效率。

有關本實用新型所提供的氣體反應連續腔的詳細構造、特點、組裝或使用方式，將于后續的實施方式詳細說明中予以描述。然而，在本實用新型領域中具有通常知識者應能了解，該數個詳細說明以及實施本實用新型所列舉的特定實施例，僅系用于說明本實用新型，并非用以限制本實用新型的專利申請范圍。

附圖說明

圖1為本實用新型第一較佳實施例所提供的氣體反應連續腔的示意圖，并顯示一受反應物位于該氣體反應連續腔的一預熱腔室，且該氣體反應連續腔的一遮蓋裝置的蓋體是位于一頂高位置；

圖2為圖1的局部放大圖，顯示該遮蓋裝置的蓋體位于一遮蓋位置，且該受反應物受該蓋體遮蓋；

圖3至圖6類同于圖1，分別顯示使用該氣體反應連續腔的氣體反應方法的不同步驟；以及

7圖7為本實用新型第二較佳實施例所提供的氣體反應連續腔的示意圖。

具體實施方式

請先參閱圖1，本實用新型第一較佳實施例所提供的氣體反應連續腔10包含有一輸送裝置12，以及依序連接的一第一隔離裝置14、一預熱腔室16、一第二隔離裝置18、一反應腔室20、一第三隔離裝置22、一冷卻腔室24及一第四隔離裝置26，且該輸送裝置12位于該數個腔室16、20、24及該數個隔離裝置14、18、22、26內。

該輸送裝置12具有一前端122及一后端124，該輸送裝置12用以設置一受反應物28，且主要是用以帶動該受反應物28朝向該前端122移動進而通過該數個腔室16、20、24；然而，該輸送裝置12亦可（但不限于）具有能帶動該受反應物28朝向該后端122移動的功能。