[實用新型]電漿激發裝置

有效

• 申請號: 201320357058.2
• 申請日: 2013-06-20
• 公開（公告）號: CN203398085U
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 陳慶安;張宏隆;胡肇匯
• 申請（專利權）人: 志圣工業股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙) 44295
• 代理人: 任琳

1.一種電漿激發裝置，適于通一射頻后對一真空的反應腔體提供均勻的磁場，所述電漿激發裝置包括：多個線圈單元，所述的多個線圈單元沿一軸線間隔排列于所述反應腔體的一側面，每一線圈單元包括一沿所述軸線的方向延伸并環繞的螺線圈，所述螺線圈形成多個平行于所述側面的第一長邊，所述多個第一長邊相間隔且相互平行，所述螺線圈的兩端通電以產生磁場。

2.如權利要求1所述的電漿激發裝置，其特征在于：每一螺線圈環繞而呈長方形，每一螺線圈還形成至少一與所述多個第一長邊相間隔且遠離所述側面的第二長邊，及多個分別連接于所述多個第一長邊及所述第二長邊間的短邊。

3.如權利要求1所述的電漿激發裝置，其特征在于：每一螺線對應所述射頻的頻率而環繞所述軸線多圈，每一線圈單元還包括二分別設置在所述螺線圈兩端的接頭。

4.如權利要求1所述的電漿激發裝置，其特征在于：每一螺線圈繞所述軸線一圈半，每一線圈單元還包括二分別設置在所述螺線圈兩端的接頭。

5.如權利要求1至4任一項所述的電漿激發裝置，其特征在于：還包括二分別卡合于多個螺線圈兩相反側以固定多個螺線圈的固定件。