[實用新型]基于電容傳感器的上研磨盤浮離距離在線測量裝置

有效

• 申請號: 201320356274.5
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN203323694U
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 蔡東海;周海鋒;文東輝;王揚渝
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: G01B7/14
• 分類號: G01B7/14
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 王利強

1.一種基于電容傳感器的上研磨盤浮離距離在線測量裝置，所述上研磨盤的上方為動壓盤，其特征在于：所述在線測量裝置包括極距變化型電容傳感器，所述極距變化型電容傳感器包括相互針對設置的動極板和定極板，所述動極板布置在動壓盤上，所述定極板布置在所述上研磨盤上，所述極距變化型電容傳感器與運算放大器連接，所述的運算放大器與濾波器連接，所述的濾波器與A/D轉換器連接，所述的A/D轉換器與用于將送來的數據經過極距變化公式計算得到當前距離的單片機連接。

2.如權利要求1所述的基于電容傳感器的上研磨盤浮離距離在線測量裝置，其特征在于：所述極距變化型電容傳感器有三個，三個電容傳感器之間呈三角形結構。

3.如權利要求2所述的基于電容傳感器的上研磨盤浮離距離在線測量裝置，其特征在于：所述三個電容傳感器之間呈正三角形結構，所述正三角形的中心與所述動壓盤的圓心重合。